Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ vật liệu than chì tiêu hao cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm bằng nồi nấu kim loại, vật liệu cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì được phủ silicon cacbua cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và khả năng chịu lực của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Tác dụng cuối →
Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Các thành phần Half Moon của Semicorex là các bộ phận lò phản ứng được phủ bằng than chì và silicon cacbua được chế tạo chính xác được thiết kế để sử dụng trong các buồng tăng trưởng epiticular kiểu LPE. Các thành phần này đóng một vai trò quan trọng trong việc duy trì tính đồng nhất về nhiệt, độ ổn định của dòng khí và độ sạch của quy trình trong quá trình lắng đọng epiticular ở nhiệt độ cao được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Semicorex chuyên sản xuất các thành phần lò phản ứng tùy chỉnh tương thích với cấu trúc buồng LPE, cung cấp các giải pháp hiệu suất cao cho các hệ thống xử lý epiticular tiên tiến trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng lò ngang Semicorex SiC là một thành phần xử lý nhiệt độ cao tiên tiến được thiết kế cho các hệ thống khuếch tán, oxy hóa, ủ và xử lý nhiệt bán dẫn. Semicorex cung cấp Ống lò ngang SiC hiệu suất cao cho khách hàng trên toàn thế giới, cung cấp các giải pháp gốm cấp bán dẫn đáng tin cậy cho thiết bị xử lý nhiệt độ cao và các ứng dụng sản xuất tấm bán dẫn tiên tiến.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc là các bộ phận vòng được xử lý chính xác làm bằng vật liệu poly-silicon. Được thiết kế đặc biệt cho hệ thống điện cực của thiết bị khắc tiên tiến, vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc có thể đảm bảo hiệu quả sự ổn định của quá trình khắc. Chọn Semicorex có nghĩa là bạn sẽ có được các vòng ngoài poly-Si chất lượng cao để khắc axit có thể nâng cao năng suất wafer và hiệu quả hoạt động.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐiện cực cong silicon Semicorex là thành phần silicon thiết yếu hoạt động như cả điện cực trên và kênh khí ăn mòn trong quy trình ăn mòn bán dẫn có độ chính xác cao. Điện cực cong silicon Semicorex là giải pháp lý tưởng để tối ưu hóa trường năng lượng ăn mòn, được ứng dụng rộng rãi trong thiết bị ăn mòn cho bao bì tiên tiến (TSV, WLCSP) và tấm bán dẫn có cấu trúc 3D.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng có rãnh poly-Si Semicorex là bộ phận vòng thiết yếu được chế tạo từ silicon đa tinh thể có độ tinh khiết cao. Chúng được ứng dụng rộng rãi trong thiết bị khắc bán dẫn có độ chính xác cao để điều chỉnh và tối ưu hóa chính xác quá trình phân phối khí trong buồng phản ứng. Bằng cách chọn Semicorex, bạn sẽ có được giải pháp silicon lý tưởng với chất lượng đáng tin cậy, giao hàng nhanh chóng và dịch vụ chu đáo.
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng khuếch tán Semicorex là thành phần rỗng cacbua silic có độ tinh khiết cao đóng vai trò là buồng phản ứng lõi trong hệ thống khuếch tán bán dẫn, cho phép kiểm soát nhiệt độ chính xác và môi trường xử lý ổn định. Semicorex cung cấp các giải pháp ống khuếch tán SiC tiên tiến cho khách hàng trên toàn thế giới, cung cấp các thiết kế có thể tùy chỉnh, sản xuất có độ chính xác cao và nguồn cung cấp toàn cầu đáng tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầu