Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ vật liệu than chì tiêu hao cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm bằng nồi nấu kim loại, vật liệu cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì được phủ silicon cacbua cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và khả năng chịu lực của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Tác dụng cuối →
Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Các điện cực silicon đơn tinh thể Semicorex đóng vai trò vừa là điện cực vừa là đường dẫn khí ăn mòn trong quá trình ăn mòn wafer. Điện cực silicon đơn tinh thể Semicorex là thành phần silicon không thể thiếu được thiết kế đặc biệt để sản xuất chất bán dẫn cao cấp, có thể giúp cải thiện độ chính xác và tính đồng nhất của quá trình ăn mòn.
Đọc thêmGửi yêu cầuMái chèo công xôn Semicorex là thành phần được thiết kế chính xác cho các ứng dụng xử lý chất bán dẫn có độ tinh khiết cao và nhiệt độ cao. Semicorex cung cấp Mái chèo công xôn chất lượng cao để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của hệ thống quản lý nhiệt và xử lý wafer tiên tiến.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng khắc silicon Semicorex là các bộ phận khắc hình vòng chính xác được sản xuất từ silicon đơn tinh thể có độ tinh khiết cao. Chúng là những bộ phận silicon thiết yếu được sử dụng trong thiết bị khắc plasma, được thiết kế đặc biệt để tạo điều kiện khắc plasma tối ưu. Hãy chọn Semicorex, hãy chọn những vòng khắc silicon chất lượng cao.
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng lò Semicorex dành cho LPCVD là các thành phần dạng ống được sản xuất chính xác với lớp phủ SiC CVD đồng đều và dày đặc. Được thiết kế đặc biệt cho quy trình lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp tiên tiến, ống lò Semicorex dành cho LPCVD có thể cung cấp môi trường phản ứng áp suất thấp, nhiệt độ cao phù hợp để cải thiện chất lượng và hiệu suất lắng đọng màng mỏng wafer.
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng lò được phủ Semicorex CVD SiC là thành phần dạng ống cao cấp được sản xuất đặc biệt để xử lý chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như oxy hóa, khuếch tán và ủ các tấm bán dẫn. Tận dụng các công nghệ xử lý tiên tiến và kinh nghiệm sản xuất trưởng thành, Semicorex cam kết cung cấp các ống lò phủ CVD SiC được gia công chính xác với chất lượng dẫn đầu thị trường cho các khách hàng quý giá của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng xử lý Semicorex SiC được chế tạo bằng gốm SiC có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD SiC, phù hợp cho lò nung ngang trong Chất bán dẫn. Xét đến chất lượng sản phẩm và dịch vụ hậu mãi, Semicorex là công ty mong muốn hợp tác kinh doanh chất lượng cao với khách hàng trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầu