Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ vật liệu than chì tiêu hao cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm bằng nồi nấu kim loại, vật liệu cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì được phủ silicon cacbua cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và khả năng chịu lực của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Tác dụng cuối →
Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Các ngón tay Sicorex SIC là các thành phần được thiết kế chính xác được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, được thiết kế để thực hiện theo nhu cầu cực đoan của sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex có nghĩa là quyền truy cập vào chuyên môn vật liệu tiên tiến, xử lý chính xác cao và các giải pháp đáng tin cậy được tin cậy trong các ứng dụng xử lý wafer quan trọng.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex SIC NED là một thành phần cacbua silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế cho môi trường xử lý bán dẫn cực cao. Choosing Semicorex means ensuring unmatched material quality, precision engineering, and custom solutions trusted by leading semiconductor manufacturers worldwide.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác điện cực silicon semicorex là các thành phần hiệu suất cao kết hợp dẫn điện hiệu quả với khả năng phân phối khí chính xác. Chọn Semicorex có nghĩa là hợp tác với một chuyên gia đáng tin cậy, người cung cấp chất lượng vượt trội, kỹ thuật sản xuất tiên tiến và các giải pháp điện cực silicon đáng tin cậy, có thể tùy chỉnh phù hợp với nhu cầu cụ thể của bạn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền Silicon Semicorex là những người mang silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế để tăng trưởng tinh thể, chất bán dẫn và quy trình sản xuất quang điện, cung cấp sự ổn định nhiệt và kiểm soát ô nhiễm đặc biệt. Chọn Semicorex có nghĩa là truy cập các thuyền được thiết kế chính xác được thực hiện dưới sự kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt để đảm bảo hiệu suất nhất quán trong các môi trường đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuLớp phủ CVD SiC của Bộ gia nhiệt phủ Semicorex SiC mang lại hiệu suất vượt trội trong việc bảo vệ các bộ phận làm nóng khỏi môi trường khắc nghiệt, ăn mòn và phản ứng thường gặp trong các quy trình như Lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ kim loại (MOCVD) và Tăng trưởng epiticular.**
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu vòi hoa sen bằng kim loại, còn được gọi là tấm phân phối khí hoặc vòi sen khí, là một bộ phận quan trọng được sử dụng rộng rãi trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chức năng chính của nó là phân phối đều khí vào buồng phản ứng, đảm bảo rằng vật liệu bán dẫn tiếp xúc đồng đều với quy trình khí.**
Đọc thêmGửi yêu cầu