Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ vật liệu than chì tiêu hao cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm bằng nồi nấu kim loại, vật liệu cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì được phủ silicon cacbua cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và khả năng chịu lực của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Tác dụng cuối →
Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex Silicon Pedestal Boat là một vật mang wafer có độ tinh khiết cực cao 9N được thiết kế để hỗ trợ wafer chính xác và ổn định trong các quá trình oxy hóa, khuếch tán và LPCVD ở nhiệt độ cao. Chọn Semicorex để có độ tinh khiết vật liệu chưa từng có, gia công chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh*
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu phun Silicon Semicorex là thành phần dạng ống có độ tinh khiết cực cao được thiết kế để phân phối khí chính xác và không bị nhiễm bẩn trong các quy trình lắng đọng polysilicon LPCVD. Chọn Semicorex để có độ tinh khiết, gia công chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh hàng đầu trong ngành.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Silicon Wafer Boat là chất mang có độ tinh khiết cao được thiết kế cho lò nung bán dẫn nhiệt độ cao, hỗ trợ các tấm bán dẫn trong quá trình oxy hóa và khử ở 1200–1250 °C. Semicorex cung cấp các sản phẩm ưu việt, hiệu suất siêu sạch và kết quả đáng tin cậy giúp trực tiếp nâng cao năng suất thiết bị.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Silicon Shield Ring là thành phần silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế cho các hệ thống khắc plasma tiên tiến, đóng vai trò vừa là tấm chắn bảo vệ vừa là điện cực phụ. Semicorex đảm bảo hiệu suất siêu sạch, độ ổn định của quy trình và kết quả ăn mòn vượt trội với các thành phần bán dẫn được thiết kế chính xác.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMái chèo gốm Semicorex SiC là thành phần đúc hẫng có độ tinh khiết cao được thiết kế cho lò nung nhiệt độ cao bán dẫn, chủ yếu được sử dụng trong quá trình oxy hóa và khuếch tán. Chọn Semicorex có nghĩa là có được quyền truy cập vào các giải pháp gốm tiên tiến đảm bảo độ ổn định, độ sạch và độ bền vượt trội cho các ứng dụng xử lý wafer quan trọng.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác bộ phận Halfmoon được phủ Semicorex SiC là các bộ phận được chế tạo chính xác được thiết kế như các thành phần thiết yếu của thiết bị epiticular, trong đó hai phần hình bán nguyệt kết hợp với nhau để tạo thành một cụm lõi hoàn chỉnh. Chọn Semicorex có nghĩa là đảm bảo các giải pháp đáng tin cậy, có độ tinh khiết cao và bền bỉ nhằm đảm bảo hỗ trợ tấm bán dẫn ổn định và dẫn nhiệt hiệu quả cho hoạt động sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.*
Đọc thêmGửi yêu cầu