Nắp buồng được sử dụng để tạo ra môi trường sạch sẽ, trơ và được bảo vệ trong buồng lắng đọng, do đó chúng tiếp xúc với huyết tương và nhiệt độ cao trong quá trình lắng đọng hoặc ăn mòn. Nắp buồng Semicorex là các thành phần gốm bền được phủ bằng cacbua silic sử dụng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD), rất lý tưởng để chống chọi với những môi trường đầy thách thức này.