Chất nhạy cảm Pancake, một chất mang wafer hình tròn được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn.
Epitaxy là một bước quan trọng trong quá trình xử lý chất bán dẫn, phát triển lớp epitaxy trên các tấm bán dẫn, trong đó các tấm bán dẫn được vận chuyển trên các chất nhạy cảm với than chì. Chất lượng của chất nhạy cảm với than chì là yếu tố then chốt quyết định chất lượng của tấm epi-wafer.
Chất nhạy cảm than chì với lớp phủ cacbua silic
Semicorex cung cấp các chất nhạy cảm và các thành phần cho tất cả các lò phản ứng epitaxy, bao gồmchất nhạy cảm thùngvà những người nhạy cảm với bánh kếp. Chúng tôi sử dụng lớp phủ than chì và CVD SiC có độ tinh khiết cao.