Trong quá trình gia công, các tấm bán dẫn phải được nung nóng trong các lò chuyên dụng. Lò phản ứng bao gồm các ống hình trụ thon dài, trong đó các tấm bán dẫn được đặt trên các tấm bán dẫn ở một khoảng cách đều, được xác định trước. Để tồn tại trong các điều kiện xử lý bên trong buồng và để giảm thiểu chất thải cho các tấm bán dẫn từ thiết bị xử lý, các thuyền bán dẫn và nhiều thiết bị phản ứng khác các thiết bị khác được sử dụng trong xử lý tấm bán dẫn được chế tạo bằng vật liệu như cacbua silic (SiC).
Những chiếc thuyền, chất đầy một mẻ bánh bán dẫn cần xử lý, được đặt trên những mái chèo đúc hẫng dài, nhờ đó chúng có thể được đưa vào và rút ra khỏi lò nung hình ống và lò phản ứng. Các mái chèo bao gồm một phần khung đỡ dẹt mà trên đó một hoặc nhiều thuyền có thể được định vị và một tay cầm dài, được đặt ở một đầu của phần khung đỡ dẹt để có thể điều khiển mái chèo.
Mái chèo đúc hẫng được khuyến nghị sử dụng cacbua silic kết tinh lại với lớp mỏng CVD SiC, có độ tinh khiết cao và là sự lựa chọn tốt nhất cho các thành phần trong xử lý chất bán dẫn.
Semicorex có thể cung cấp dịch vụ tùy chỉnh theo bản vẽ và môi trường làm việc.
Mái chèo đúc hẫng SiC có độ tinh khiết cao Semicorex được chế tạo bằng gốm SiC thiêu kết có độ tinh khiết cao, là một bộ phận cấu trúc trong lò nung ngang trong chất bán dẫn. Semicorex là công ty có kinh nghiệm cung cấp linh kiện SiC trong ngành bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMái chèo gốm Semicorex SiC là thành phần đúc hẫng có độ tinh khiết cao được thiết kế cho lò nung nhiệt độ cao bán dẫn, chủ yếu được sử dụng trong quá trình oxy hóa và khuếch tán. Chọn Semicorex có nghĩa là có được quyền truy cập vào các giải pháp gốm tiên tiến đảm bảo độ ổn định, độ sạch và độ bền vượt trội cho các ứng dụng xử lý wafer quan trọng.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMái chèo Semicorex SiC là cánh tay đúc hẫng silicon cacbua có độ tinh khiết cao được thiết kế để vận chuyển wafer trong lò oxy hóa và khuếch tán ở nhiệt độ cao trên 1000oC. Chọn Semicorex có nghĩa là đảm bảo chất lượng vật liệu vượt trội, kỹ thuật chính xác và độ tin cậy lâu dài được các nhà sản xuất bán dẫn hàng đầu tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầu