Trung Quốc Mái chèo công xôn Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy

Trong quá trình xử lý, các tấm bán dẫn phải được nung nóng trong các lò chuyên dụng. Lò phản ứng bao gồm các ống hình trụ, kéo dài, trong đó các tấm wafer được định vị trên các thuyền wafer ở các khoảng cách đều nhau, được xác định trước. Để tồn tại trong các điều kiện xử lý trong buồng và để giảm thiểu chất thải cho các tấm wafer từ thiết bị xử lý, các thuyền wafer và nhiều các thiết bị khác được sử dụng trong xử lý wafer được chế tạo bằng vật liệu như cacbua silic (SiC).

Các thuyền, chất đầy một lô tấm wafer cần xử lý, được đặt trên các mái chèo công xôn dài, nhờ đó chúng có thể được đưa vào và rút ra khỏi lò hình ống và lò phản ứng. Các mái chèo bao gồm một phần giá đỡ phẳng mà trên đó có thể định vị một hoặc nhiều thuyền và một tay cầm dài, được đặt ở một đầu của phần giá đỡ phẳng, nhờ đó có thể cầm mái chèo.

Cánh khuấy công xôn được khuyến nghị sử dụng cacbua silic tái kết tinh với lớp mỏng CVD SiC, có độ tinh khiết cao và là lựa chọn tốt nhất cho các thành phần trong quá trình xử lý chất bán dẫn.

Semicorex có thể cung cấp dịch vụ tùy chỉnh theo bản vẽ và môi trường làm việc.