Trong quá trình gia công, các tấm bán dẫn phải được nung nóng trong các lò chuyên dụng. Lò phản ứng bao gồm các ống hình trụ thon dài, trong đó các tấm bán dẫn được đặt trên các tấm bán dẫn ở một khoảng cách đều, được xác định trước. Để tồn tại trong các điều kiện xử lý bên trong buồng và để giảm thiểu chất thải cho các tấm bán dẫn từ thiết bị xử lý, các thuyền bán dẫn và nhiều thiết bị phản ứng khác các thiết bị khác được sử dụng trong xử lý tấm bán dẫn được chế tạo bằng vật liệu như cacbua silic (SiC).
Những chiếc thuyền, chất đầy một mẻ bánh bán dẫn cần xử lý, được đặt trên những mái chèo đúc hẫng dài, nhờ đó chúng có thể được đưa vào và rút ra khỏi lò nung hình ống và lò phản ứng. Các mái chèo bao gồm một phần khung đỡ dẹt mà trên đó một hoặc nhiều thuyền có thể được định vị và một tay cầm dài, được đặt ở một đầu của phần khung đỡ dẹt để có thể điều khiển mái chèo.
Mái chèo đúc hẫng được khuyến nghị sử dụng cacbua silic kết tinh lại với lớp mỏng CVD SiC, có độ tinh khiết cao và là sự lựa chọn tốt nhất cho các thành phần trong xử lý chất bán dẫn.
Semicorex có thể cung cấp dịch vụ tùy chỉnh theo bản vẽ và môi trường làm việc.