Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Máy sưởi wafer. Bộ gia nhiệt cho thiết bị lắng đọng yêu cầu phân phối nhiệt đồng đều trên tấm bán dẫn, cùng với độ tinh khiết cao và khả năng kháng plasma. Semicorex cung cấp các ứng dụng gia nhiệt được phủ cacbua silic CVD bao gồm lò sưởi và nồi nấu kim loại, các bộ phận gia nhiệt tiên tiến của chúng tôi phù hợp với môi trường lắng đọng chân không các quy trình ALD-CVD-PVD.
Lớp phủ CVD SiC của Bộ gia nhiệt phủ Semicorex SiC mang lại hiệu suất vượt trội trong việc bảo vệ các bộ phận làm nóng khỏi môi trường khắc nghiệt, ăn mòn và phản ứng thường gặp trong các quy trình như Lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ kim loại (MOCVD) và Tăng trưởng epiticular.**
Đọc thêmGửi yêu cầuBộ gia nhiệt MOCVD của Semicorex là một thành phần được thiết kế tỉ mỉ và tiên tiến mang lại nhiều ưu điểm, bao gồm độ tinh khiết hóa học vượt trội, hiệu suất nhiệt, tính dẫn điện, độ phát xạ cao, khả năng chống ăn mòn, khả năng không oxy hóa và độ bền cơ học.**
Đọc thêmGửi yêu cầu