Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng ở nhiệt độ khắc nghiệt, Nồi nấu kim loại Boron Nitride ép nóng là các thùng chứa gốm không thể thiếu, đóng vai trò là giải pháp tuyệt vời cho cả quá trình nấu chảy và bay hơi kim loại cũng như quá trình phát triển tinh thể bán dẫn.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐược sản xuất bằng vật liệu cacbua silic chất lượng cao, ống bảo vệ cặp nhiệt điện SIC là giải pháp gốm tiên tiến dùng để bảo vệ cặp nhiệt điện hoạt động bình thường trong những môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao. Hãy chọn Semicorex cho các ống bảo vệ cặp nhiệt điện SIC được thiết kế chính xác để đảm bảo chất lượng ổn định, giá cả hợp lý và hiệu quả làm mát tối đa.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐược làm bằng gốm cacbua silic hiệu suất cao, ống làm mát cacbua silic là thành phần ống có hiệu suất cao được sử dụng trong quy trình làm mát của lò nung công nghiệp nhiệt độ cao. Chọn Semicorex cho các ống làm mát bằng cacbua silic được thiết kế chính xác để đảm bảo chất lượng ổn định, giá cả hợp lý và hiệu quả làm mát tối đa.
Đọc thêmGửi yêu cầuPhanh gốm carbon Semicorex được làm bằng vật liệu tổng hợp gốm carbon tiên tiến, là vật liệu tiên tiến rất phù hợp với môi trường làm việc ở nhiệt độ cao. Semicorex cung cấp các sản phẩm được tùy chỉnh theo ứng dụng và yêu cầu của khách hàng.*
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm khắc silicon cacbua ICP là vật giữ wafer không thể thiếu được sản xuất bằng gốm cacbua silic thiêu kết có độ tinh khiết cao. Được thiết kế đặc biệt bởi Semicorex, nó đóng vai trò là yếu tố hỗ trợ quan trọng cho hệ thống khắc và lắng đọng plasma kết hợp cảm ứng (ICP) trong ngành công nghiệp bán dẫn tiên tiến.
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại nhôm nitrit của Semicorex được sản xuất bằng gốm AlN cấp bán dẫn, là loại bình phản ứng hiệu suất cao được ứng dụng trong môi trường nhiệt độ cao đầy thách thức. Semicorex cung cấp sản xuất tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng, xử lý cả các đơn đặt hàng quy mô lớn và nhu cầu nguyên mẫu lô nhỏ.
Đọc thêmGửi yêu cầu