Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Các tấm nitride silicon semicorex là chất nền gốm cường độ cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất nhiệt đặc biệt và độ tin cậy cơ học cho các mô-đun năng lượng tiên tiến. Chọn Semicorex có nghĩa là được hưởng lợi từ sản xuất chính xác, kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và chuyên môn kỹ thuật vật liệu để đảm bảo hiệu suất nhất quán ngay cả trong các ứng dụng đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex sic Boat dọc là một tàu sân bay wafer hiệu suất cao được thiết kế để sử dụng trong các quy trình lò dọc, cung cấp sự ổn định đặc biệt, độ sạch và độ bền. Chọn Semicorex cho chất lượng không khoan nhượng, sản xuất chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh trong xử lý nhiệt bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác đường ống SIC SIC là các thành phần gốm silicon hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng lò bán dẫn, cung cấp độ ổn định nhiệt, cơ học và hóa học đặc biệt trong môi trường xử lý đòi hỏi. Chọn Semicorex cho các ống SIC được thiết kế chính xác để đảm bảo chất lượng nhất quán, tuổi thọ dịch vụ mở rộng và hiệu quả lò nung tối đa.*
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền SIC Bán ngang SICREX là người mang cacbua silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế để giữ wafer an toàn trong quá trình xử lý lò ngang ở nhiệt độ cao. Chọn Semicorex có nghĩa là được hưởng lợi từ kỹ thuật chính xác, độ bền đặc biệt và hiệu suất nhiệt vượt trội cho sản xuất năng suất cao, nhất quán.*
Đọc thêmGửi yêu cầuGương quét cacbua silicon semicorex cung cấp độ chính xác, tốc độ và độ ổn định đặc biệt cho các ứng dụng quét quang đòi hỏi khắt khe nhất. Chọn Semicorex cho chuyên môn chưa từng có trong Kỹ thuật SIC, cung cấp hình học phù hợp, lớp phủ cao cấp và độ tin cậy đã được chứng minh trong các hệ thống quang học hiệu suất cao.*
Đọc thêmGửi yêu cầuGương sic semicorex là các thành phần quang học cacbua silicon hiệu suất cao được thiết kế cho độ chính xác cao trong các ứng dụng như hệ thống quét quang, in thạch bản và kính viễn vọng dựa trên không gian. Chọn Semicorex cho chuyên môn sản xuất nâng cao của chúng tôi, thiết kế có thể tùy chỉnh và hoàn thiện bề mặt đặc biệt để đảm bảo sự ổn định, phản xạ và độ tin cậy chưa từng có trong các môi trường đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầu