Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Máy sưởi ALN Semicorex là các yếu tố sưởi ấm dựa trên gốm tiên tiến được thiết kế cho các ứng dụng nhiệt hiệu suất cao. Những lò sưởi này cung cấp độ dẫn nhiệt đặc biệt, cách nhiệt và khả năng chống căng thẳng hóa học và cơ học, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng công nghiệp và khoa học. Máy sưởi ALN cung cấp hệ thống sưởi chính xác và đồng đều, đảm bảo quản lý nhiệt hiệu quả trong môi trường đòi hỏi độ tin cậy và độ bền cao.*
Đọc thêmGửi yêu cầuThuyền silicon silicon Semicorex là những người mang wafer hiệu suất cao được thiết kế cho quá trình oxy hóa và khuếch tán chất bán dẫn. Các thành phần được thiết kế chính xác này cung cấp một môi trường ổn định, có độ tinh khiết cao cho các tấm silicon bên trong các ống lò, đảm bảo độ tin cậy và hiệu quả của quá trình tối ưu. *
Đọc thêmGửi yêu cầuMá phanh gốm semicorex cung cấp cường độ đặc biệt, khả năng chống nhiệt và hiệu suất phanh đáng tin cậy trong mọi điều kiện, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho các phương tiện hiệu suất cao, môn thể thao đua xe, hàng không và xe máy. *
Đọc thêmGửi yêu cầuPhanh Semicorex C/SIC cung cấp một dung dịch phanh hiệu suất cao, nhẹ với khả năng chống nhiệt, độ bền và hiệu suất phù hợp đặc biệt, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các phương tiện và các ứng dụng hàng không vũ trụ.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex sic màng gốm là một giải pháp lý tưởng cho các ngành công nghiệp đòi hỏi sự lọc hiệu quả, bền và chính xác. Chọn Semicorex có nghĩa là hợp tác với một chuyên gia đáng tin cậy cam kết cung cấp công nghệ màng gốm chất lượng cao, các giải pháp sáng tạo và hỗ trợ khách hàng tuyệt vời.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMàng SIC SIC là các giải pháp lọc gốm hiệu suất cao được thiết kế để đáp ứng các ứng dụng công nghiệp đòi hỏi khắt khe nhất với độ bền đặc biệt, kháng hóa chất và độ ổn định nhiệt. Là một nhà lãnh đạo trong công nghệ vật liệu tiên tiến, Semicorex tiếp tục vượt qua ranh giới của sự đổi mới, cung cấp các màng SIC chất lượng vượt trội, đặt ra các tiêu chuẩn công nghiệp mới.*
Đọc thêmGửi yêu cầu