Trung Quốc Lò CVD Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy

Lò CVD được sử dụng cho quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Lắng đọng hơi hóa học là một quá trình trong đó một màng mỏng được lắng đọng trên đế bằng phản ứng hóa học giữa các khí tiền thân đã hóa hơi và bề mặt được nung nóng.

Lò CVD thường bao gồm buồng chân không, hệ thống phân phối khí, hệ thống sưởi ấm và giá đỡ chất nền. Buồng chân không được sử dụng để loại bỏ không khí và các loại khí khác khỏi môi trường lắng đọng để ngăn các tạp chất cản trở quá trình lắng đọng. Hệ thống phân phối khí đưa các khí tiền thân đến bề mặt chất nền, nơi chúng phản ứng để tạo thành màng mỏng mong muốn. Hệ thống gia nhiệt làm nóng chất nền đến nhiệt độ cần thiết để phản ứng xảy ra. Giá đỡ chất nền được sử dụng để giữ chất nền tại chỗ trong quá trình lắng đọng.

Trong quy trình CVD, các khí tiền chất được đưa vào buồng chân không và được nung nóng đến nhiệt độ mà chúng phân hủy và phản ứng để tạo thành một màng mỏng trên đế được nung nóng. Nhiệt độ và áp suất của môi trường lắng đọng được kiểm soát cẩn thận để đảm bảo đạt được tính chất màng mong muốn.

Lò CVD được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn để lắng đọng các màng mỏng để chế tạo các thiết bị vi điện tử, chẳng hạn như mạch tích hợp và pin mặt trời. Chúng cũng được sử dụng trong sản xuất các vật liệu tiên tiến, chẳng hạn như lớp phủ, sợi quang và chất siêu dẫn.