Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ vật liệu than chì tiêu hao cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm bằng nồi nấu kim loại, vật liệu cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì được phủ silicon cacbua cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon cacbua (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và khả năng chịu lực của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Tác dụng cuối →
Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex SiC Heat Filament là một lò sưởi than chì được phủ silicon cacbua được thiết kế để gia nhiệt wafer trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Chọn Semicorex có nghĩa là chọn một đối tác đáng tin cậy cung cấp vật liệu có độ tinh khiết cao, tùy chỉnh chính xác và hiệu suất lâu dài cho các quy trình nhiệt đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu cặp cacbua silic Semicorex được thiết kế đặc biệt cho thiết bị quang khắc và có nhiều ưu điểm như độ chính xác cao, trọng lượng siêu nhẹ, độ cứng cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống mài mòn tuyệt vời.
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng lò Semicorex SiC là ống silicon cacbua có độ tinh khiết cao được sản xuất bằng công nghệ in 3D tiên tiến, được thiết kế cho các quy trình quang điện ở nhiệt độ cao. Semicorex cung cấp các giải pháp SiC tiên tiến với độ bền, độ ổn định và độ tin cậy vượt trội được ngành năng lượng mặt trời trên toàn thế giới tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầuMái chèo Semicorex SiC là cánh tay đúc hẫng silicon cacbua có độ tinh khiết cao được thiết kế để vận chuyển wafer trong lò oxy hóa và khuếch tán ở nhiệt độ cao trên 1000oC. Chọn Semicorex có nghĩa là đảm bảo chất lượng vật liệu vượt trội, kỹ thuật chính xác và độ tin cậy lâu dài được các nhà sản xuất bán dẫn hàng đầu tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex SiC Focus Ring là thành phần vòng silicon cacbua có độ tinh khiết cao được thiết kế để tối ưu hóa sự phân phối plasma và tính đồng nhất của quy trình wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex có nghĩa là đảm bảo chất lượng ổn định, kỹ thuật vật liệu tiên tiến và hiệu suất đáng tin cậy được các nhà sản xuất bán dẫn hàng đầu trên toàn thế giới tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex wafer cạnh mài mâm cặp là một đĩa gốm được làm từ alumina trắng tinh khiết cao, được thiết kế để mài cạnh wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex đảm bảo chất lượng vật liệu vượt trội, kỹ thuật chính xác và hiệu suất đáng tin cậy hỗ trợ môi trường xử lý wafer đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầu