Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
|
Dự án |
Thông số |
|
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
|
Độ phát xạ |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Độ cứng (HK) |
2000 |
|
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
|
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
|
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Vòng cacbua Tantalum xốp Semicorex là các thành phần chịu lửa hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt cho quá trình phát triển tinh thể Silicon Carbide (SiC) Vận chuyển hơi vật lý (PVT), có cấu trúc thiêu kết nguyên khối mang lại độ ổn định nhiệt đặc biệt và tính thấm khí được kiểm soát.*
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm với tấm wafer than chì được phủ Semicorex TaC là thành phần tiên tiến được áp dụng thường xuyên để hỗ trợ và định vị ổn định các tấm bán dẫn trong quá trình epiticular bán dẫn tiên tiến. Tận dụng các công nghệ sản xuất tiên tiến và kinh nghiệm sản xuất trưởng thành, Semicorex cam kết cung cấp các bộ cảm biến wafer than chì phủ TaC được thiết kế theo yêu cầu với chất lượng dẫn đầu thị trường cho các khách hàng quý giá của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm được phủ sơn Semicorex CVD TaC là chất nhạy cảm than chì hiệu suất cao với lớp phủ TaC dày đặc, được thiết kế để mang lại độ đồng đều nhiệt và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời cho các quá trình tăng trưởng epiticular SiC đòi hỏi khắt khe. Semicorex kết hợp công nghệ phủ CVD tiên tiến với kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt để cung cấp các chất nhạy cảm lâu dài, ít nhiễm bẩn được các nhà sản xuất SiC epi toàn cầu tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng được phủ cacbua Semicorex tantalum là thành phần vòng hiệu suất cao được sử dụng trong thiết bị phát triển tinh thể bán dẫn. Chúng được thiết kế đặc biệt để tạo ra gradient nhiệt độ phù hợp và môi trường luồng không khí ổn định trong quá trình phát triển tinh thể. Bằng cách chọn vòng dẫn hướng được phủ cacbua tantalum Semicorex, bạn sẽ được hưởng lợi từ công nghệ phủ tuyệt vời cũng như trải nghiệm sản xuất ổn định và hiệu quả cao.
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại phủ than chì Semicorex TaC được chế tạo bằng than chì phủ Tantalum Carbide thông qua phương pháp CVD, đây là vật liệu phù hợp nhất được áp dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Semicorex là công ty chuyên về lớp phủ gốm CVD và cung cấp các giải pháp vật liệu tốt nhất trong ngành bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác thành phần được phủ Semicorex TaC trong Epiticular Growth là một bộ phận gia công quý giá nằm ở cửa hút khí trong quá trình epiticular trong chất bán dẫn. Semicorex là công ty hàng đầu chuyên về công nghệ phủ CVD TaC tại Trung Quốc và xuất khẩu sản phẩm trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầu