Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
|
Dự án |
Thông số |
|
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
|
Độ phát xạ |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Độ cứng (HK) |
2000 |
|
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
|
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
|
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Các thành phần được phủ Semicorex TaC trong Epiticular Growth là một bộ phận gia công quý giá nằm ở cửa hút khí trong quá trình epiticular trong chất bán dẫn. Semicorex là công ty hàng đầu chuyên về công nghệ phủ CVD TaC tại Trung Quốc và xuất khẩu sản phẩm trên toàn thế giới.*
Đọc thêmGửi yêu cầuGiá đỡ tinh thể hạt được phủ TaC là thành phần hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt cho môi trường phát triển của vật liệu bán dẫn. Là nhà sản xuất hàng đầu về giá đỡ tinh thể hạt được phủ TTaC, semicorex cung cấp cho bạn các giải pháp thành phần lõi hiệu quả trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn cao cấp.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất hỗ trợ bệ phủ lớp phủ Semicorex TaC là một thành phần quan trọng được thiết kế cho các hệ thống tăng trưởng epiticular, được thiết kế đặc biệt để hỗ trợ bệ lò phản ứng và tối ưu hóa quá trình phân phối dòng khí. Semicorex cung cấp giải pháp hiệu suất cao, được thiết kế chính xác, kết hợp tính toàn vẹn cấu trúc vượt trội, độ ổn định nhiệt và khả năng kháng hóa chất—đảm bảo hiệu suất ổn định, đáng tin cậy trong các ứng dụng epit Wax tiên tiến.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex CVD TaC Coated Susceptor là giải pháp cao cấp được thiết kế cho quy trình epiticular MOCVD, mang lại độ ổn định nhiệt, độ tinh khiết và khả năng chống ăn mòn vượt trội trong các điều kiện quy trình khắc nghiệt. Semicorex tập trung vào công nghệ phủ được thiết kế chính xác để đảm bảo chất lượng wafer ổn định, kéo dài tuổi thọ linh kiện và hiệu suất đáng tin cậy trong mọi chu kỳ sản xuất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại được tráng phủ Semicorex TaC là thùng chứa hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng nhiệt độ khắc nghiệt, phù hợp cho cả quy trình nấu chảy kim loại và quy trình bán dẫn tiên tiến. Chọn Semicorex có nghĩa là tiếp cận được công nghệ phủ tiên tiến và chuyên môn kỹ thuật mang lại độ tinh khiết, độ bền và độ ổn định vượt trội trong những môi trường đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm hành tinh được phủ Semicorex TaC là thành phần có độ chính xác cao được thiết kế để tăng trưởng epiticular MOCVD, có chuyển động hành tinh với nhiều túi wafer và kiểm soát dòng khí được tối ưu hóa. Chọn Semicorex có nghĩa là tiếp cận công nghệ phủ tiên tiến và chuyên môn kỹ thuật mang lại độ bền, độ tinh khiết và độ ổn định quy trình vượt trội cho ngành công nghiệp bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầu