Lò tăng trưởng tinh thể là thiết bị cốt lõi cho sự phát triển của các tinh thể cacbua silicon. Nó tương tự như lò tăng trưởng tinh thể tinh thể truyền thống. Cấu trúc lò không phức tạp lắm. Nó chủ yếu bao gồm cơ thể lò, hệ thống sưởi, cơ chế truyền tải, hệ thống đo lường và thu thập chân không, hệ t......
Đọc thêm