Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quá trình xử lý chất bán dẫn. Các lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý lát bán dẫn & lát bán dẫn và chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quy trình trong chất bán dẫn. Các sản phẩm của chúng tôi bao gồm từ vật tư tiêu hao than chì cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm với nồi nấu kim loại, chất cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý wafer, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì phủ silicon carbide cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Thuận lợi cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epitaxy hoặc MOCVD, hoặc quá trình xử lý wafer như ăn mòn hoặc cấy ghép ion phải chịu được nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon carbide (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất lâu bền, đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán.
Nắp buồng â
Nắp buồng được sử dụng trong quy trình tăng trưởng tinh thể và xử lý wafer phải chịu được nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa bằng hóa chất khắc nghiệt.
Bộ hiệu ứng kết thúc â
End effector là bàn tay của rô-bốt di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.
Vòng đầu vào â
Vòng đầu vào khí phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét â
Semicorex cung cấp vòng lấy nét phủ silicon carbide thực sự ổn định để làm sạch RTA, RTP hoặc hóa chất khắc nghiệt.
Bàn kẹp wafer â
Mâm cặp wafer chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao được sử dụng trong quy trình xử lý wafer.
Giới thiệu Tay chuyển wafer, được thiết kế và sản xuất bởi đội ngũ chuyên gia của chúng tôi ở Trung Quốc, sản phẩm này được thiết kế đặc biệt để đảm bảo chuyển các wafer an toàn và hiệu quả từ vị trí này sang vị trí khác mà không làm hỏng bề mặt mỏng manh.
Đọc thêmGửi yêu cầuCác thành phần phủ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, tiên tiến của Semicorex được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt trong quy trình xử lý wafer. Mâm cặp wafer bán dẫn của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuHoàn hảo cho các ứng dụng in thạch bản và xử lý wafer thế hệ tiếp theo, các thành phần gốm siêu tinh khiết của Semicorex đảm bảo mức độ nhiễm bẩn tối thiểu và mang lại hiệu suất tuổi thọ đặc biệt lâu dài. Mâm cặp chân không wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuCác vòng lấy nét bền Semicorex dành cho xử lý chất bán dẫn được thiết kế để chịu được môi trường khắc nghiệt của buồng ăn mòn plasma được sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Các vòng lấy nét của chúng tôi được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao được phủ một lớp phủ silicon carbide (SiC) dày đặc, chống mài mòn. Lớp phủ SiC có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao, cũng như khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời. Chúng tôi phủ SiC thành các lớp mỏng lên than chì bằng cách sử dụng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để cải thiện tuổi thọ sử dụng của các vòng tiêu điểm của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng tiêu điểm xử lý Semicorex Plasma được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu cao về xử lý ăn mòn plasma trong ngành công nghiệp bán dẫn. Các Thành phần phủ cacbua silic tiên tiến, có độ tinh khiết cao của chúng tôi được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt và phù hợp để sử dụng trong các ứng dụng khác nhau, bao gồm các lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng lấy nét SiC có độ tinh khiết cao, tiên tiến của Semicorex được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt trong buồng khắc plasma (hoặc khắc khô). Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Sản phẩm của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu