Chất mang Semicorex RTP được phủ cacbua silic bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Cốt lõi của quá trình bán dẫn, chất nhạy cảm với epit Wax, lần đầu tiên tiếp xúc với môi trường lắng đọng nên có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao. Chất mang được phủ SiC cũng có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
● Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
● Khả năng chịu nhiệt và kháng hóa chất vượt trội
● Độ đồng đều nhiệt cao
● Khả năng chống mài mòn tuyệt vời