Nhẫn có rãnh Poly-Si

Các vòng có rãnh Poly-Si thường được lắp đặt trong buồng phản ứng của thiết bị khắc bán dẫn tiên tiến. Chúng hoạt động hiệp đồng với các bộ phận silicon, bao gồm cả siliconvòng tập trung, vòng ngoài silicon và siliconvòi hoa sen. Những bộ phận này có thể tạo ra môi trường phản ứng ổn định và tối ưu cho quá trình ăn mòn, đảm bảo chất lượng tuyệt vời.khắcđộ chính xác và tính nhất quán của quy trình.

Chức năng của vòng có rãnh Semicorex poly-Si

1. Các vòng có rãnh Semicorex poly-Si được trang bị nhiều khe phân bố đều đóng vai trò là đường dẫn khí, cho phép xả khí quá trình một cách trơn tru sau phản ứng.

2. Vòng có rãnh poly-Si Semicorex có thể đạt được khả năng kiểm soát plasma tuyệt vời, mang lại sự bảo vệ đáng tin cậy cho buồng phản ứng của thiết bị khắc bán dẫn.

3. Vòng có rãnh Semicorex poly-Si có thể giúp điều chỉnh điện trường và áp suất buồng, do đó ngăn ngừa sự mất ổn định ảnh hưởng đến tính nhất quán của quá trình ăn mòn.

Lựa chọn vật liệu tiêu chuẩn cao

Vòng có rãnh poly-Si Semicorex được sản xuất từ ​​silicon đa tinh thể chất lượng cao với độ tinh khiết trên 99,9999%, mang lại cho chúng những đặc tính ưu việt như sau.

1. Độ tinh khiết cực cao và hàm lượng tạp chất cực thấp.

2. Khả năng chống ăn mòn plasma đặc biệt.

3. Tính chất điện thuận lợi, độ đồng đều điện trở: RRG 5%, độ phân giải thấp. (<0,02), độ phân giải trung bình. (1–4) và độ phân giải cao. (70–90).

Năng lực sản xuất và kiểm soát chất lượng

Được trang bị thiết bị gia công tiên tiến và đội ngũ kỹ thuật giàu kinh nghiệm, Semicorex kiểm soát chặt chẽ từng quy trình sản xuất và cung cấp các vòng có rãnh poly-Si chất lượng cao và phù hợp cho quý khách hàng. Ngoài ra, Semicorex còn tiến hành kiểm soát chặt chẽ việc đo kích thước, kiểm tra điện trở suất và kiểm tra trực quan trên các vòng có rãnh poly-Si thành phẩm để đảm bảo chúng không có các khuyết tật như sứt mẻ, trầy xước, nứt và vết bẩn.