Trung Quốc linh kiện bán dẫn Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy

Là nhà sản xuất chuyên nghiệp, chúng tôi muốn cung cấp cho bạn Linh kiện bán dẫn. Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quá trình xử lý chất bán dẫn. Các lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý lát bán dẫn & lát bán dẫn và chế tạo chất bán dẫn.

Các thành phần được phủ SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quy trình trong chất bán dẫn. Các sản phẩm của chúng tôi bao gồm từ vật tư tiêu hao than chì cho các vùng nóng phát triển tinh thể (máy sưởi, chất nhạy cảm với nồi nấu kim loại, chất cách nhiệt), đến các thành phần than chì có độ chính xác cao cho thiết bị xử lý wafer, chẳng hạn như chất nhạy cảm than chì phủ silicon carbide cho Epitaxy hoặc MOCVD.

Thuận lợi cho quá trình bán dẫn

Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epitaxy hoặc MOCVD, hoặc quá trình xử lý wafer như ăn mòn hoặc cấy ghép ion phải chịu được nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc than chì phủ silicon carbide (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất lâu bền, đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán.

Nắp buồng â
Nắp buồng được sử dụng trong quy trình tăng trưởng tinh thể và xử lý wafer phải chịu được nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa bằng hóa chất khắc nghiệt.

Bộ hiệu ứng kết thúc â
End effector là bàn tay của rô-bốt di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang.

Vòng đầu vào â
Vòng đầu vào khí phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.

Vòng lấy nét â
Semicorex cung cấp vòng lấy nét phủ silicon carbide thực sự ổn định để làm sạch RTA, RTP hoặc hóa chất khắc nghiệt.

Bàn kẹp wafer â
Mâm cặp wafer chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao được sử dụng trong quy trình xử lý wafer.