Mâm cặp wafer Semicorex được làm bằng lớp phủ silicon cacbua của MOCVD có khả năng chịu nhiệt và làm mát nhanh vượt trội, chống mài mòn, đặc tính tuổi thọ dài hơn. Nó là vật liệu tuyệt vời để giữ và đỡ các tấm wafer Si cho các quy trình khác nhau trong quá trình sản xuất chip trong ngành bán dẫn.
● Độ cứng
● Độ giãn nở nhiệt thấp
● Trọng lượng thấp