Vòng ngoài Poly-Si để khắc

Thường được bố trí xung quanhvòi hoa sen, Vòng ngoài Poly-Si đóng vai trò là bộ phận kết nối giữa vòng xả và vòi sen. Nó hoạt động hợp tác vớimâm cặp tĩnh điện, vòi hoa sen Si, vòng lấy nét Si, vòng xả Si và vòng chắn Si, tạo ra môi trường xử lý ổn định và đáng tin cậy cho hoạt động khắc có độ chính xác cao.

Ưu điểm của vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc

Vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc được sản xuất chính xác từ polysilicon chất lượng cao, mang lại hiệu suất đặc tính tuyệt vời sau.

1. Độ sạch cao và hàm lượng hạt thấp

2. Khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống sốc nhiệt cao

3. Khả năng chống ăn mòn đáng tin cậy

4. Hiệu suất điện vượt trội và tính đồng nhất dẫn điện cao

Chức năng của vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc

1. Hiệu suất nối đất ổn định

Được sử dụng để nối đất và bảo vệ điện cực, các vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc có thể tránh tích tụ tĩnh điện cũng như hư hỏng hồ quang và đảm bảo hệ thống điện cực hoạt động ổn định, đáp ứng hoàn hảo nhu cầu quy trình chế tạo 3D NAND tiên tiến.

2. Hỗ trợ đáng tin cậy

Vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc đóng vai trò là thành phần thiết yếu kết nối vòng xả và vòi hoa sen. Chúng cung cấp sự hỗ trợ cơ học đáng tin cậy cho cả hai bộ phận và giữ chúng ở vị trí ổn định ở vị trí thích hợp. Ngoài ra, việc sử dụng vòng ngoài Semicorex poly-Si để khắc có thể ngăn chặn sự xói mòn plasma trên buồng khắc, do đó đảm bảo hiệu quả việc thực hiện ổn định hoạt động khắc.

3. Khả năng tương thích với quá trình khắc

Các vòng ngoài của Semicorex poly-Si để khắc có hàm lượng tạp chất thấp và khả năng chống ăn mòn đặc biệt, mang lại khả năng tương thích tuyệt vời với việc chế tạo các tấm silicon, giúp giảm đáng kể các khuyết tật của tấm bán dẫn do nhiễm bẩn sản phẩm phụ bị ăn mòn và đảm bảo đáng kể tỷ lệ năng suất cao trong sản xuất chất bán dẫn.