Điện cực cong silicon

Trong thiết bị khắc tiên tiến, điện cực cong silicon thường được gắn trên đỉnh buồng khắc, hướng về phía tấm bán dẫn. Điện cực cong silicon thường hoạt động cùng với mâm cặp tĩnh điện, vòng lấy nét Si, vòng cạnh Si, vòng xả Si và vòng che chắn Si để cung cấp điều kiện vận hành tối ưu cho quá trình khắc có độ chính xác cao.

Chức năng của điện cực cong silicon Semicorex

1. Tương thích với khắc cấu trúc 3D phức tạp

Với khả năng điều khiển điện trường 3D đặc biệt, Semicorexđiện cực cong silichoàn toàn có thể phù hợp với đặc điểm hình học của các cấu trúc phức tạp. Thiết kế cong đặc biệt cho phép điều khiển plasma chính xác và phân phối năng lượng tối ưu, ảnh hưởng đáng kể đến tỷ lệ khung hình và độ thẳng đứng của thành bên của quá trình khắc cấu trúc 3D và đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về dây chuyền sản xuất của quy trình đóng gói tiên tiến và tích hợp IC 3D.

2. Kiểm soát chính xác việc phân phối khí Etch

Các điện cực cong silicon Semicorex có nhiều lỗ vi mô phân bố đồng đều trên bề mặt để khí ăn mòn đi vào buồng ăn mòn. Các điện cực cong silicon Semicorex có thể đạt được sự kiểm soát chính xác đối với khí ăn mòn và cho phép nó được phân bố đồng đều trong buồng ăn mòn, do đó giảm thiểu các biến đổi của quy trình do phân phối khí không đồng đều gây ra.

Ưu điểm của điện cực cong silicon Semicorex

1. Độ tinh khiết cực cao

Điện cực cong silicon Semicorex được làm bằng tinh thể đơn có độ tinh khiết cực caosilicvới mức độ tinh khiết trên 99,9999999%, mang lại khả năng chống xói mòn plasma vượt trội. Việc lựa chọn vật liệu tiêu chuẩn cao này có thể tránh được sự ô nhiễm không mong muốn một cách hiệu quả do các sản phẩm phụ bị ăn mòn đồng thời kéo dài đáng kể tuổi thọ của các điện cực cong silicon.

2. Tính chất điện tuyệt vời

Được sản xuất từ ​​silicon đơn tinh thể được trồng MCZ, các điện cực cong silicon Semicorex thể hiện độ đồng đều điện trở suất tuyệt vời: <5% và phạm vi điện trở suất có thể lựa chọn rộng: độ phân giải thấp. (<0,02), độ phân giải trung bình. (1–4) và độ phân giải cao. (70–90).

3. Độ chính xác xử lý chính xác

Thông qua quá trình xử lý cơ học có độ chính xác cao, các điện cực cong silicon Semicorex đạt được kích thước lỗ đồng nhất và sự phân bố lỗ đồng đều. Bề mặt của chúng được đánh bóng và mài tinh xảo: được đánh bóng (Ra < 0,1 μm) và được mài (Ra < 1,6 μm), với độ chính xác gia công tổng thể được kiểm soát trong phạm vi 0,03 mm.