Vòng lấy nét hoặc vòng cạnh được thiết kế để cải thiện tính đồng nhất khắc xung quanh cạnh hoặc chu vi của tấm bán dẫn.
Vòng hội tụ Semicorex được phủ cacbua silic bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí là độ đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ, được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt trong quá trình khắc plasma hoặc khắc khô .
Semicorex SiC Focus Ring là thành phần vòng silicon cacbua có độ tinh khiết cao được thiết kế để tối ưu hóa sự phân phối plasma và tính đồng nhất của quy trình wafer trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex có nghĩa là đảm bảo chất lượng ổn định, kỹ thuật vật liệu tiên tiến và hiệu suất đáng tin cậy được các nhà sản xuất bán dẫn hàng đầu trên toàn thế giới tin cậy.*
Đọc thêmGửi yêu cầu