Trung Quốc Đầu vòi hoa sen Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy

Vòi sen SiC (silicon cacbua) là một bộ phận chuyên dụng được sử dụng trong nhiều quy trình công nghiệp khác nhau, đặc biệt là trong ngành sản xuất chất bán dẫn. Nó được thiết kế để phân phối và cung cấp khí xử lý một cách đồng đều và chính xác trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) và quá trình tăng trưởng epiticular.

Đầu vòi hoa sen có hình dạng giống như một chiếc đĩa hoặc tấm có nhiều lỗ hoặc vòi phun phân bố đều trên bề mặt. Những lỗ này đóng vai trò là lối thoát cho khí xử lý, cho phép chúng được bơm vào buồng xử lý hoặc buồng phản ứng. Kích thước, hình dạng và sự phân bố của các lỗ có thể khác nhau tùy thuộc vào yêu cầu quy trình và ứng dụng cụ thể.

Một trong những ưu điểm chính của việc sử dụng vòi sen SiC là khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời. Đặc tính này cho phép truyền nhiệt hiệu quả và phân bổ nhiệt độ đồng đều trên bề mặt vòi hoa sen, ngăn ngừa các điểm nóng và đảm bảo các điều kiện quy trình nhất quán. Độ dẫn nhiệt được tăng cường cũng cho phép làm mát nhanh chóng vòi sen sau quy trình, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và tăng năng suất tổng thể.

Vòi sen SiC có độ bền cao và chống mài mòn, ngay cả khi tiếp xúc lâu với khí ăn mòn và nhiệt độ cao. Tuổi thọ này chuyển thành khoảng thời gian bảo trì kéo dài và giảm thời gian ngừng hoạt động của thiết bị, giúp tiết kiệm chi phí và cải thiện độ tin cậy của quy trình.

Ngoài độ chắc chắn, vòi sen SiC còn có khả năng phân phối khí tuyệt vời. Các mẫu và cấu hình lỗ được thiết kế chính xác đảm bảo dòng khí và phân phối đồng đều trên bề mặt chất nền, thúc đẩy sự lắng đọng màng ổn định và nâng cao hiệu suất thiết bị. Việc phân phối khí đồng đều cũng giúp giảm thiểu sự thay đổi về độ dày màng, thành phần và các thông số quan trọng khác, góp phần cải thiện năng suất và kiểm soát quy trình.

Semicorex cung cấp đầu vòi hoa sen bán dẫn cacbua silic thiêu kết có điện trở suất thấp.  Chúng tôi có khả năng tùy chỉnh kỹ sư và cung cấp vật liệu gốm sứ tiên tiến sử dụng nhiều khả năng độc đáo.