Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd là nhà cung cấp chất lượng cao hàng đầu các sản phẩm sơn phủ SiC lắng đọng hơi hóa học (CVD) hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi cam kết nghiên cứu và phát triển các vật liệu bán dẫn sáng tạo, đặc biệt là công nghệ phủ SiC và ứng dụng của nó trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi cung cấp nhiều loại sản phẩm chất lượng cao nhưChất nhạy than chì phủ SiC, phủ cacbua silic, chất nhạy cảm epitaxy UV sâu, Lò sưởi chất nền CVD, Chất mang wafer CVD SiC, thuyền wafer, cũng nhưlinh kiện bán dẫnVàsản phẩm gốm silicon carbide.
Màng mỏng SiC được sử dụng trong chất nền đơn tinh thể silicon và epitaxy của chip LED có pha lập phương với cấu trúc mạng tinh thể giống như kim cương và nó chỉ đứng sau kim cương về độ cứng. SiC là vật liệu bán dẫn dải rộng được công nhận rộng rãi, có tiềm năng ứng dụng to lớn trong ngành công nghiệp điện tử bán dẫn, có các tính chất vật lý và hóa học tuyệt vời, chẳng hạn như tính dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp, khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn.
Trong quá trình sản xuất các thiết bị điện tử, các tấm bán dẫn phải trải qua một số bước, bao gồm cả silicon epitaxy, trong đó các tấm bán dẫn được mang trên các chất nhạy cảm với than chì. Chất lượng và tính chất của các chất nhạy cảm đóng một vai trò quan trọng đối với chất lượng của lớp epitaxy của wafer. Cơ sở than chì là một trong những thành phần cốt lõi của thiết bị MOCVD, và nó là chất mang và chất làm nóng chất nền. Các thông số hiệu suất ổn định nhiệt của nó như tính đồng nhất nhiệt đóng vai trò quyết định đến chất lượng tăng trưởng vật liệu epiticular và trực tiếp xác định Độ đồng nhất và độ tinh khiết trung bình.
Tại Semicorex, chúng tôi sử dụng CVD để sản xuất màng β-SiC dày đặc trên than chì đẳng tĩnh cường độ cao, có độ tinh khiết cao hơn so với vật liệu SiC thiêu kết. Các sản phẩm của chúng tôi như chất nhạy than chì phủ SiC mang lại cho đế than chì những đặc tính đặc biệt, làm cho bề mặt của đế than chì nhỏ gọn, nhẵn và không xốp, khả năng chịu nhiệt vượt trội, tính đồng nhất nhiệt, chống ăn mòn và chống oxy hóa.
Công nghệ phủ SiC đã được sử dụng rộng rãi, đặc biệt là trong sự phát triển của chất mang epiticular LED và epitaxy đơn tinh thể Si. Với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp bán dẫn, nhu cầu về công nghệ và sản phẩm phủ SiC đã tăng lên đáng kể. Các sản phẩm sơn phủ SiC của chúng tôi có nhiều ứng dụng trong ngành hàng không vũ trụ, công nghiệp quang điện, năng lượng hạt nhân, đường sắt cao tốc, ô tô và các ngành công nghiệp khác.
ứng dụng sản phẩm
LED IC epitaxy
Epitaxy silicon đơn tinh thể
Chất mang wafer RTP/TRA
khắc ICP/PSS
khắc plasma
SiC epitaxi
Epitaxy silicon đơn tinh thể
GaN epitaxy gốc silicon
Epitaxy UV sâu
khắc chất bán dẫn
công nghiệp quang điện
Hệ thống CVD Epitaxy SiC
Thiết bị tăng trưởng màng epiticular SiC
lò phản ứng MOCVD
hệ thống MOCVD
thiết bị CVĐ
Hệ thống PECVD
hệ thống LPE
hệ thống Aixtron
hệ thống hạt nhân
Hệ thống điện thoại CVD
Hệ thống Vecco
hệ thống TSI