Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Bộ phận tác động cuối phải có kích thước chính xác và ổn định về mặt nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm bán dẫn một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra các hạt nhiễm bẩn.
Các thành phần lớp phủ cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của Semicorex mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và độ bền lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ.