Bộ phận tác động cuối là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Bộ phận tác động cuối phải có kích thước chính xác và ổn định về mặt nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm bán dẫn một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra các hạt nhiễm bẩn.
Các thành phần lớp phủ cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của Semicorex mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí có độ đồng đều nhiệt để có độ dày và độ bền lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ.
Semicorex Alumina Geramic ARM là một thành phần robot tinh khiết cao được thiết kế để xử lý wafer chính xác và không bị ô nhiễm trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex đảm bảo không chỉ chất lượng vật liệu gốm alumina tiên tiến mà còn cả sự khéo léo chính xác đảm bảo độ bền, độ sạch và độ tin cậy trong môi trường quá trình quan trọng.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex SIC ARM là một thành phần cacbua silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế để xử lý và định vị chính xác trong sản xuất chất bán dẫn. Chọn dấu chấm phẩy đảm bảo độ tin cậy vật liệu chưa từng có, khả năng kháng hóa chất và kỹ thuật chính xác hỗ trợ các quy trình bán dẫn đòi hỏi khắt khe nhất.*
Đọc thêmGửi yêu cầuCác ngón tay Sicorex SIC là các thành phần được thiết kế chính xác được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, được thiết kế để thực hiện theo nhu cầu cực đoan của sản xuất chất bán dẫn. Chọn Semicorex có nghĩa là quyền truy cập vào chuyên môn vật liệu tiên tiến, xử lý chính xác cao và các giải pháp đáng tin cậy được tin cậy trong các ứng dụng xử lý wafer quan trọng.*
Đọc thêmGửi yêu cầu