Than chì lớp phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao bằng một lớp cacbua tantali mịn bằng quy trình Lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantali cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantali và carbon. Nó có tính dẫn điện kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, làm cho nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của tantali cacbua cực đại ở khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epitaxy bán dẫn phức hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của Semicorex TaC Coating
dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500â |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
â¥20um giá trị điển hình (35um ± 10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Các bộ phận than chì được phủ Semicorex TaC là các bộ phận được chế tạo chính xác, được thiết kế đặc biệt để chịu được môi trường đòi hỏi khắt khe của quá trình xử lý chất bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuLớp phủ than chì Semicorex TaC đại diện cho một giải pháp tiên tiến trong lĩnh vực ứng dụng nhiệt cho quá trình phát triển tinh thể và epiticular (epi). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng phủ Semicorex TaC đóng vai trò là thành phần then chốt trong lĩnh vực phát triển đơn tinh thể trong trường nhiệt. Được chế tạo với độ chính xác và sự đổi mới, vòng dẫn hướng chuyên dụng này đóng một vai trò quan trọng trong quy trình sản xuất vật liệu đơn tinh thể phức tạp. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm wafer được phủ Semicorex TaC là thành phần quan trọng được sử dụng trong lò lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ kim loại (MOCVD) để xử lý epiticular (epi) bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm phủ cacbua Tantalum Semicorex TaC là một giải pháp tiên tiến được thiết kế để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong giai đoạn xử lý epiticular (epi). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng được phủ Semicorex TaC, đỉnh cao của sự đổi mới trong lò tăng trưởng đơn tinh thể SiC (Silicon Carbide). Được thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng nhu cầu chính xác của ngành công nghiệp bán dẫn, vòng dẫn hướng này hứa hẹn sẽ xác định lại quá trình phát triển tinh thể của bạn với độ chính xác và độ tin cậy tuyệt vời.
Đọc thêmGửi yêu cầu