Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Đầu kẹp than chì phủ Semicorex TaC là thành phần hiệu suất cao được thiết kế để xử lý tấm bán dẫn chính xác và các quy trình nhiệt độ cao trong sản xuất chất bán dẫn. Hãy chọn Semicorex vì các sản phẩm bền bỉ, sáng tạo của nó nhằm đảm bảo hiệu suất và tuổi thọ tối ưu trong các ứng dụng bán dẫn đòi hỏi khắt khe.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng Semicorex TaC là thành phần hiệu suất cao được thiết kế để phát triển tinh thể đơn SiC, đảm bảo phân phối dòng khí và kiểm soát nhiệt độ tối ưu. Hãy chọn Semicorex vì chuyên môn của chúng tôi về vật liệu tiên tiến và kỹ thuật chính xác, cung cấp các giải pháp bền bỉ và đáng tin cậy giúp nâng cao hiệu quả và chất lượng quy trình bán dẫn của bạn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Tantalum Carbide Part là thành phần than chì được phủ TaC được thiết kế để sử dụng hiệu suất cao trong các ứng dụng tăng trưởng tinh thể cacbua silic (SiC), mang lại khả năng chịu nhiệt độ và hóa chất tuyệt vời. Chọn Semicorex để có các thành phần chất lượng cao, đáng tin cậy giúp nâng cao chất lượng tinh thể và hiệu quả sản xuất trong sản xuất chất bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng cacbua Tantalum Semicorex là thành phần quan trọng được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được biết đến với độ cứng đặc biệt, điểm nóng chảy cao và độ trơ hóa học, Tại Semicorex, chúng tôi tận tâm cung cấp các sản phẩm đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu suất, đảm bảo rằng khách hàng của chúng tôi luôn đi đầu trong đổi mới trong ngành bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor là một khay than chì được phủ cacbua tantalum, được sử dụng trong quá trình tăng trưởng epiticular silicon cacbua để nâng cao chất lượng và hiệu suất của wafer. Hãy chọn Semicorex vì công nghệ phủ tiên tiến và các giải pháp bền bỉ đảm bảo kết quả epitaxy SiC vượt trội và kéo dài tuổi thọ của chất nhạy cảm.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng lớp phủ TaC là vòng than chì có lớp phủ cacbua tantalum, được thiết kế để sử dụng trong lò phát triển tinh thể cacbua silic nhằm nâng cao chất lượng tinh thể. Hãy chọn Semicorex vì công nghệ phủ tiên tiến, đảm bảo độ bền vượt trội, ổn định nhiệt và hiệu suất phát triển tinh thể được tối ưu hóa.*
Đọc thêmGửi yêu cầu