Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Semicorex Tantalum Carbide Coating Graphite Crucible là thành phần chuyên dụng được thiết kế để sử dụng trong ngành bán dẫn, đặc biệt là trong quá trình phát triển tinh thể Silicon Carbide (SiC). Nồi nấu kim loại hiệu suất cao này nổi bật nhờ thành phần vật liệu và thiết kế cấu trúc độc đáo, khiến nó trở thành công cụ không thể thiếu trong các quy trình phát triển tinh thể tiên tiến. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Tantalum Carbide Crucible là thành phần quan trọng trong ngành bán dẫn, được thiết kế đặc biệt để phát triển tinh thể Silicon Carbide (SiC). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Tantalum Carbide Halfmoon Part là thành phần quan trọng được sử dụng trong quy trình epit Wax bán dẫn, một giai đoạn quan trọng trong sản xuất thiết bị bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex TaC-Coating Crucible đã nổi lên như một công cụ thiết yếu trong việc theo đuổi tinh thể bán dẫn chất lượng cao, tạo điều kiện cho những tiến bộ trong khoa học vật liệu và hiệu suất thiết bị. Sự kết hợp các đặc tính độc đáo của TaC-Coating Crucible khiến chúng phù hợp lý tưởng với môi trường đòi hỏi khắt khe của quá trình phát triển tinh thể, mang lại những lợi thế khác biệt so với các vật liệu truyền thống.**
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng tráng phủ Semicorex TaC đại diện cho đỉnh cao của khoa học vật liệu, được thiết kế để chịu được các điều kiện khắc nghiệt gặp phải trong chế tạo chất bán dẫn tiên tiến. Được tạo ra bằng cách phủ một lớp TaC dày đặc, đồng nhất lên nền than chì đẳng hướng có độ tinh khiết cao thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), Ống tráng TaC mang đến sự kết hợp hấp dẫn các đặc tính vượt trội so với các vật liệu thông thường trong môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao và có tính ăn mòn hóa học. **
Đọc thêmGửi yêu cầuHalfmoon được phủ Semicorex TaC mang lại những lợi thế hấp dẫn trong quá trình tăng trưởng epiticular của silic cacbua (SiC) cho các ứng dụng điện tử công suất và RF. Sự kết hợp vật liệu này giải quyết những thách thức quan trọng trong quá trình epit Wax SiC, cho phép chất lượng wafer cao hơn, cải thiện hiệu quả quy trình và giảm chi phí sản xuất. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Halfmoon được phủ TaC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầu