Giá đỡ tinh thể hạt được phủ TaC là thành phần hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt cho môi trường phát triển của vật liệu bán dẫn. Là nhà sản xuất hàng đầu về giá đỡ tinh thể hạt được phủ TTaC, semicorex cung cấp cho bạn các giải pháp thành phần lõi hiệu quả trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn cao cấp.
Chất nền củaphủ TaCGiá đỡ tinh thể hạt giống thường được làm bằng than chì, cacbua silic hoặc vật liệu composite cacbon/cacbon, sau đó một lớp phủ TaC được phủ lên bề mặt của nó thông qua công nghệ lắng đọng hơi hóa học ở nhiệt độ cực cao (CVD) tiên tiến. Giá đỡ tinh thể hạt được phủ TaC được chế tạo bằng phương pháp này có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, độ bền cơ học siêu cao, chịu nhiệt độ cao tốt và dẫn nhiệt hiệu quả.
Chức năng của giá đỡ tinh thể hạt phủ TaC
1. Chức năng hỗ trợ
Giá đỡ tinh thể hạt được phủ TaC của Semicorex cung cấp nền tảng hỗ trợ ổn định cho tinh thể hạt, đảm bảo tinh thể hạt duy trì vị trí cố định trong các điều kiện khó khăn như nhiệt độ cao và chân không cao. Điều này ngăn ngừa hiệu quả các vấn đề như sự dịch chuyển tinh thể hoặc hư hỏng do rung động và luồng không khí, do đó đảm bảo tính liên tục và ổn định của sự phát triển tinh thể.
2. Tác dụng bảo vệ
Giá đỡ tinh thể hạt được phủ TaC được lắp đặt phía trên nắp nồi nấu bằng than chì và cách ly nắp than chì khỏi hơi Si ở nhiệt độ cao. Điều này tránh được sự ăn mòn do hơi gây ra một cách hiệu quả và kéo dài tuổi thọ của nắp than chì. Ngoài ra, tính ổn định hóa học vốn có và khả năng chịu nhiệt độ cao của lớp phủ TaC cũng giúp giảm bớt sự xâm nhập của tạp chất, mang lại môi trường ổn định và sạch sẽ cho sự phát triển của tinh thể hạt.
3. Kiểm soát nhiệt độ
Giá đỡ tinh thể hạt được phủ Semicorex TaC sử dụng các kỹ thuật sản xuất đi đầu trong ngành. Kiểm soát nhiệt độ chính xác của trường nhiệt có thể đạt được bằng cách tối ưu hóa hình dạng, kích thước và độ dày lớp phủ của chúng một cách chuyên nghiệp. Điều này làm giảm đáng kể tỷ lệ khuyết tật và thúc đẩy hiệu quả sự phát triển tinh thể đồng đều.