Tấm hành tinh phủ TaC

Tấm hành tinh được phủ Semicorex TaC đóng vai trò là thành phần chính trong lò phản ứng MOCVD, thể hiện thiết kế hành tinh được đặc trưng bởi nhiều túi wafer được sắp xếp dọc theo bề mặt của nó. Các túi này được tạo ra đặc biệt để chứa các tấm bán dẫn một cách đáng tin cậy trong giai đoạn tăng trưởng của bất kỳ lớp epiticular nào, ổn định các tấm nền và giảm thiểu chuyển động của chất nền trong điều kiện nhiệt độ quy trình tăng cao. Hình dạng túi chính xác cung cấp vị trí đặt wafer nhất quán, điều này rất quan trọng đối với độ dày đồng đều của các lớp epiticular và mức độ đồng đều của các khuyết tật nền đối với tất cả các wafer được phát triển trong cùng một quy trình.

Một khía cạnh thiết kế quan trọng của tấm hành tinh, một lần nữa, là sự phân tán được thiết kế của các lỗ dòng khí mịn dọc theo bề mặt của tấm. Những lỗ này được thiết kế cẩn thận và đặt ở vị trí chiến lược đặc biệt để đo lưu lượng khí tiền thân trong lò phản ứng, nhờ đó đạt được sự phân tán khí đồng đều và thậm chí lắng đọng giữa mỗi tấm bán dẫn. Trong bất kỳ quy trình MOCVD nào, các khía cạnh của động lực học khí đều rất quan trọng trong việc xác định chất lượng màng, độ đồng đều về độ dày và hiệu suất tổng thể của thiết bị. Thiết kế lỗ được tối ưu hóa trênphủ TaCTấm hành tinh đảm bảo rằng tất cả các tấm bán dẫn đều trải qua các điều kiện xử lý giống nhau, mang lại cách tối ưu để cải thiện năng suất và khả năng tái sản xuất.

cácLớp phủ TaC (tantalum cacbua)tiếp tục kéo dài hiệu suất và tuổi thọ của tấm hành tinh. Tantalum cacbua cực kỳ cứng, trơ về mặt hóa học và dẫn nhiệt, khiến nó trở thành lớp phủ tuyệt vời cho môi trường MOCVD khắc nghiệt. Trong quá trình epitaxy, các thành phần trong lò phản ứng sẽ gặp nhiệt độ cao, khí tiền chất phản ứng và tiếp xúc với plasma. Lớp phủ TaC đóng vai trò như một rào cản mạnh mẽ chống lại sự ăn mòn, oxy hóa và tạo hạt, giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ của tấm hành tinh so với tấm không được phủ hoặc được phủ thông thường.

Tuổi thọ và độ bền của Tấm hành tinh được phủ TaC khiến nó trở thành sự lựa chọn tiết kiệm chi phí cho các hệ thống MOCVD. Lớp TaC bền bỉ có thể chịu được chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại và tiếp xúc với các loại khí quá trình khắc nghiệt trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và tính ổn định của hiệu suất khi vận hành trong các khung thời gian kéo dài.