Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Vòng dẫn hướng lớp phủ Semicorex TaC đóng vai trò là bộ phận quan trọng trong thiết bị lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), đảm bảo phân phối chính xác và ổn định các khí tiền chất trong quá trình tăng trưởng epiticular. Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC thể hiện một loạt các đặc tính khiến nó trở nên lý tưởng để chịu được các điều kiện khắc nghiệt có trong buồng lò phản ứng MOCVD.**
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex TaC Coating wafer Chuck được coi là đỉnh cao của sự đổi mới trong quy trình epit Wax bán dẫn, một giai đoạn quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Với cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng hàng đầu với giá cả cạnh tranh, chúng tôi sẵn sàng trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.*
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm Semicorex MOCVD với lớp phủ TaC là thành phần tiên tiến được chế tạo tỉ mỉ để mang lại hiệu suất tối ưu trong quy trình epit Wax bán dẫn trong hệ thống MOCVD. Semicorex không ngừng cam kết cung cấp các sản phẩm ưu việt với mức giá cạnh tranh cao. Chúng tôi mong muốn thiết lập mối quan hệ hợp tác lâu dài với bạn tại Trung Quốc.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng phủ Semicorex CVD TaC đóng vai trò là thành phần quan trọng trong xử lý chất bán dẫn, tượng trưng cho đỉnh cao của kỹ thuật vật liệu hiện đại. Được chế tạo để thực hiện trong những môi trường khắt khe nhất, nơi độ chính xác và độ tin cậy được đặt lên hàng đầu, chiếc nhẫn này thể hiện sự kết hợp giữa kỹ thuật phủ tiên tiến với khoa học vật liệu đàn hồi. Semicorex kiên định cung cấp các sản phẩm hàng đầu với mức giá cạnh tranh và chúng tôi háo hức mong đợi việc xây dựng mối quan hệ đối tác lâu dài với bạn tại Trung Quốc.*
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm hành tinh phủ Semicorex TaC là một thành phần chuyên dụng cao được thiết kế để sử dụng trong quy trình epiticular của sản xuất chất bán dẫn. Semicorex tận tâm cung cấp các sản phẩm chất lượng hàng đầu với giá cả cạnh tranh. Chúng tôi mong muốn thiết lập mối quan hệ hợp tác lâu dài với bạn tại Trung Quốc.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng phủ cacbua Semicorex Tantalum là một thành phần tiên tiến được thiết kế đặc biệt cho ngành bán dẫn, đóng một vai trò quan trọng trong sự phát triển của tinh thể Silicon cacbua (SiC). Sản phẩm này được thiết kế để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của môi trường nhiệt độ cao và áp lực cao vốn có trong quá trình phát triển tinh thể bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầu