Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Semicorex 6 Inch SiC Boat là chất mang wafer hiệu suất cao được làm từ cacbua silic, được thiết kế để sử dụng trong các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao như oxy hóa và khuếch tán. Semicorex cung cấp các sản phẩm chất lượng cao với độ ổn định nhiệt đặc biệt, khả năng kháng hóa chất tuyệt vời và cam kết về hiệu suất lâu dài, đáng tin cậy trong các ứng dụng bán dẫn đòi hỏi khắt khe.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Vertical Silicon Boat là một thành phần quan trọng được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, Semicorex cung cấp thuyền Silicon dọc tùy chỉnh với chất lượng và độ chính xác tuyệt vời, được thiết kế để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của ngành bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng đệm Si3N4 của Semicorex thể hiện sự tiến bộ đáng kể trong kỹ thuật gốm sứ, được chế tạo từ Si3N4, một vật liệu vô cơ đặc biệt. Loại gốm này nổi tiếng với đặc tính độc đáo là không bị co lại trong quá trình thiêu kết, đảm bảo sự ổn định và nhất quán về kích thước.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Alumina Fastener là một phần không thể thiếu trong việc xây dựng các thiết bị sử dụng trong lắng đọng hơi hóa học (CVD), cấy ion, quang khắc và sản xuất chất bán dẫn.
Đọc thêmGửi yêu cầuTrục bơm Semicorex SiC nổi bật nhờ hiệu suất và độ tin cậy vượt trội khi là một thành phần không thể thiếu trong máy bơm từ tính, máy bơm lá chắn, máy bơm nhiều tầng, máy bơm thủy lực, máy bơm hóa chất và máy ly tâm.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐược thiết kế để chịu được các điều kiện khắc nghiệt, Nồi nấu kim loại gốm AlN do Semicorex giới thiệu là công cụ không thể thiếu dành cho các chuyên gia làm việc với kim loại màu và vật liệu bán dẫn như gali arsenide.
Đọc thêmGửi yêu cầu