Thuyền wafer gốm silicon cacbua

Là bộ phận mang tấm bán dẫn không thể thiếu, thuyền bán dẫn bằng gốm cacbit silicon Semicorex được thiết kế đặc biệt để kẹp, hỗ trợ và chuyển các tấm bán dẫn một cách an toàn trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong các quy trình xử lý nhiệt chính xác. Semicorex, công ty hàng đầu trong ngành tại Trung Quốc, cam kết cung cấp các tấm wafer gốm cacbua silic chất lượng cao giúp nâng cao năng suất wafer và hiệu quả hoạt động.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Lựa chọn vật liệu cao cấp

Các đặc tính tuyệt vời của gốm cacbua silic Semicorexthuyền waferđều nhờ vào nguyên liệu thô chất lượng cao. Được làm từ vật liệu SiSiC cấp bán dẫn và được phủ một lớp phủ CVD SiC, thuyền bán dẫn bằng gốm cacbua silic thể hiện những đặc tính tuyệt vời sau.

Silicon carbide ceramic wafer boats

1. Độ tinh khiết cực cao, không giải phóng tạp chất kim loại

Tạp chất nền: ＜100 ppm

Tạp chất lớp phủ CVD SiC: ＜ 1 ppm

2. Độ ổn định nhiệt cao

Thuyền wafer gốm cacbua silic có thể hoạt động ổn định trong điều kiện nhiệt độ cao 1250oC, mang lại sự biến dạng và khả năng chống rão tối thiểu.

3. Độ bền cơ học cao

cacbua silicsở hữu độ cứng và khả năng chống mài mòn cao, giúp thuyền bán dẫn bằng gốm silicon cacbua Semicorex chống trầy xước, mài mòn và hư hỏng, do đó hoạt động tốt trong quá trình hoạt động lâu dài và có khả năng chống hư hỏng.

4. Chống ăn mòn đặc biệt

Vì cacbua silic có khả năng chống ăn mòn từ axit và kiềm mạnh nên thuyền bán dẫn bằng gốm cacbua silic Semicorex có thể duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và hiệu suất chức năng ngay cả trong điều kiện làm việc có tính ăn mòn cao.

Thiết kế kết cấu tối ưu

Thuyền bán dẫn gốm cacbua silic Semicorex được thiết kế để xử lý bán dẫn theo mẻ, khung cấu trúc được tối ưu hóa của chúng đảm bảo hỗ trợ bán bán dẫn theo mẻ ổn định và độ ổn định quy trình nhất quán cho mỗi bán bán dẫn.

Cấu trúc hỗ trợ dọc 1,3 trụ

Cấu trúc thẳng đứng của các tấm wafer gốm cacbua silic Semicorex cho phép chúng phù hợp liền mạch với các ứng dụng lò đứng. Với cấu trúc này, các tấm wafer gốm cacbua silicon emcorex có thể tạo điều kiện cho sự lưu thông đồng nhất của khí xử lý và phân phối đồng đều năng lượng nhiệt trong lò nhiệt độ cao.

2. Các khe cắm được phân bố đồng đều

Thuyền bán dẫn gốm cacbit silicon Semicorex được trang bị nhiều chốt khe được gia công chính xác trên các trụ đỡ của chúng. Các chốt khe cách đều nhau của chúng đạt được khoảng cách khe thích hợp, cho phép các tấm wafer bằng gốm silicon cacbua cố định chắc chắn các tấm bán dẫn, từ đó góp phần cải thiện tính nhất quán của kết quả xử lý nhiệt tấm bán dẫn.

Với rất nhiều hiệu suất và chức năng tuyệt vời, các tấm wafer gốm cacbua silicon Semicorex được sử dụng rộng rãi trong các quy trình cốt lõi của sản xuất tấm bán dẫn, như oxy hóa, khuếch tán, cấy ion và ủ nhiệt độ cao.

Thẻ nóng: Thuyền wafer gốm silicon cacbua, Trung Quốc, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy, tùy chỉnh, số lượng lớn, tiên tiến, bền

Thẻ sản phẩm

Danh mục liên quan