Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Ứng dụng của Chất đánh bóng wafer Semicorex Alumina trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau, từ chất bán dẫn đến quang điện, đóng một vai trò quan trọng trong quá trình mài và đánh bóng cơ học hóa học (CMP) của tấm bán dẫn.
Đọc thêmGửi yêu cầuVan cacbua silic Semicorex là một thành phần quan trọng trong các ứng dụng công nghiệp khác nhau, mang lại khả năng chống ăn mòn, độ bền nhiệt độ và khả năng phục hồi cơ học tuyệt vời. Nó phù hợp với các ngành công nghiệp từ hóa dầu đến dược phẩm sinh học, đảm bảo hoạt động hiệu quả và đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường khó khăn nhất.
Đọc thêmGửi yêu cầuMâm cặp tĩnh điện PBN của Semicorex nổi bật trong lĩnh vực xử lý tấm bán dẫn trong sản xuất chất bán dẫn nhờ các đặc tính vật liệu độc đáo của nó.
Đọc thêmGửi yêu cầuCon lăn Silicon Nitride, do Semicorex trình bày, được chế tạo từ silicon nitride thiêu kết áp suất khí (Si3N4), một vật liệu gốm hiệu suất cao.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng đệm quay Semicorex SiC được thiết kế để hoạt động trong điều kiện áp suất và nhiệt độ cao. Tính ổn định và độ bền của nó trong những môi trường như vậy làm cho nó trở thành một thành phần vô giá trong các ứng dụng bịt kín mà các vật liệu truyền thống có thể bị hỏng.
Đọc thêmGửi yêu cầuCánh tay robot Semicorex SiC là cánh tay robot bằng gốm silicon cacbua hiệu suất cao được thiết kế nhằm mang lại độ chính xác và độ bền trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Hãy chọn Semicorex vì chuyên môn của chúng tôi trong việc cung cấp các giải pháp đổi mới, đáng tin cậy và chất lượng cao phù hợp với nhu cầu của ngành bán dẫn.*
Đọc thêmGửi yêu cầu