Thuyền wafer gốm SiC

Việc lựa chọn thuyền bán dẫn đáng tin cậy và bền bỉ là rất quan trọng để đảm bảo tính ổn định của quy trình và năng suất bán bán dẫn trong điều kiện vận hành ở nhiệt độ cao và ăn mòn cao. Dấu chấm phẩygốm SiCthuyền wafer là sự lựa chọn lý tưởng cho những mục đích này bằng cách xử lý nhiều ưu điểm của chúng bao gồm khả năng tích hợp cao, độ ổn định cao, chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn và tuổi thọ dài.

Lựa chọn nguyên liệu cao cấp

Kiểm soát chất lượng của SemicorexThuyền wafer gốm SiCbắt đầu với việc lựa chọn nguyên liệu thô nghiêm ngặt của họ. Thuyền bán dẫn gốm Semicorex SiC được làm bằng bột cacbua silic cấp độ bán dẫn có độ tinh khiết cao thông qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao. Nhờ nguyên liệu thô cao cấp, chúng mang lại hiệu suất vượt trội sau đây.

1. Độ tinh khiết cực cao, ô nhiễm tạp chất kim loại thấp.

2. Cấu trúc vật liệu dày đặc, giảm ô nhiễm wafer do phân tán hạt.

3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời chống lại plasma, axit mạnh và kiềm.

4. Độ cứng và độ bền cơ học cao, chống mài mòn và trầy xước.

5. Độ ổn định nhiệt vượt trội, không bị biến dạng hoặc rão ở 1250°C.

6. Khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, giảm ứng suất nhiệt do thay đổi nhiệt độ nhanh.

Thiết kế tùy chỉnh chu đáo

Thuyền bán dẫn gốm Semicorex SiC rất phù hợp với nhiều OEM lò nung hàng đầu trong ngành, chẳng hạn như TEL, ASM và Kokusai Electric. Semicorex cung cấp các giải pháp được thiết kế theo yêu cầu riêng cho khách hàng quý giá của chúng tôi, hỗ trợ tùy chỉnh kích thước thuyền bán dẫn, bước rãnh, độ sâu rãnh, biên dạng rãnh (hình chữ V hoặc hình chữ U) và các góc tương ứng để cho phép tương thích hoàn hảo với thiết bị và yêu cầu xử lý của bạn.

Độ chính xác gia công chính xác

Được hỗ trợ bởi thiết bị gia công tiên tiến và công nghệ xử lý hoàn thiện, Semicorex có thể kiểm soát chặt chẽ kích thước và dung sai của thuyền bán dẫn gốm SiC của họ. Điều khiển kích thước có độ chính xác cao này đảm bảo các tấm bán dẫn được định vị chắc chắn trong quá trình vận hành, giúp ngăn chặn hiệu quả hư hỏng của tấm bán dẫn do trượt hoặc nghiêng. Sau khi gia công chính xác, các khe cách đều nhau của thuyền wafer gốm SiC có thể đảm bảo rằng mỗi wafer được làm nóng và phản ứng đồng đều trong quá trình oxy hóa, khuếch tán và CVD, góp phần rất lớn vào việc cải thiện tính nhất quán của quy trình và năng suất chip bán dẫn.