Thuyền Cassette Silicon Carbide

Dấu chấm phẩythuyền cassette cacbua siliclà những bộ phận mang không thể thiếu, với cấu trúc ổn định và độ bền cao, giữ, chuyển và xử lý nhiều tấm bán dẫn một cách an toàn và chính xác. Chúng được sử dụng rộng rãi trong các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao khác nhau để đảm bảo phân phối dòng khí và nhiệt được tối ưu hóa cho kết quả xử lý nhất quán.

Nguyên liệu được chọn lọc kỹ lưỡng

Được chế tạo chính xác từ bột cacbua silic cấp bán dẫn thông qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao, thuyền cassette cacbua silic Semicorex sở hữu những đặc tính tuyệt vời sau.

1. Độ tinh khiết cực cao:Hàm lượng tạp chất của chất nền được kiểm soát ở mức dưới 100 PPM và mức tạp chất củaCacbua silic CVDlớp phủ có thể đạt ít hơn 1 PPM.

2. Khả năng chống ăn mòn đáng tin cậy:Gốm cacbua silic mang lại khả năng chống ăn mòn mạnh và có khả năng chống ăn mòn từ hầu hết các axit (như axit clohydric, axit sulfuric và axit hydrofluoric), chất kiềm (như xút), dung môi và môi trường oxy hóa.

3. Khả năng quản lý nhiệt vượt trội:Với khả năng chịu nhiệt đặc biệt và hệ số giãn nở nhiệt thấp, thuyền cassette cacbua silic có thể duy trì các đặc tính hóa học và độ bền cơ học ngay cả khi chúng tiếp xúc với điều kiện hoạt động kéo dài ở nhiệt độ cao khoảng 1250 ° C.

Cấu trúc được thiết kế chính xác

1. Kết cấu khung ngang:Cấu trúc khung ngang của thuyền cassette cacbua silicon Semicorex khiến chúng hoàn toàn phù hợp với các ống lò nung nhiệt độ cao nằm ngang.

2. Các rãnh khía cách đều nhau:Với nhiều rãnh khía cách đều nhau, thuyền cassette cacbua silicon Semicorex có thể giữ chặt tấm bán dẫn tại chỗ, điều này có thể ngăn ngừa đáng kể các vết trầy xước, mài mòn và hư hỏng không mong muốn do dịch chuyển tấm bán dẫn, do đó đảm bảo hiệu quả độ ổn định của quy trình bán dẫn và hiệu suất của tấm bán dẫn.

3. Thiết kế nhiều khe:Nhiều khe cắm được thiết kế để mang nhiều tấm wafer cho phép thuyền cassette cacbua silicon Semicorex cải thiện thông lượng xử lý từng mẻ và hiệu quả sản xuất tổng thể.

4. Kiến trúc mở:Thuyền cassette cacbua silic Semicorex được trang bị kiến ​​trúc mở chu đáo, có thể giúp đạt được sự phân phối khí đồng đều và tiếp xúc phản ứng đủ, nhờ đó giảm thiểu một cách hiệu quả các kết quả quy trình không nhất quán.