Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Alumina Boat của Semicorex tìm được chỗ đứng trong ngành công nghiệp bán dẫn, máy móc nói chung và các quy trình nhiệt độ cao, chứng tỏ không thể thiếu đối với các chuyên gia đang tìm kiếm độ tin cậy và độ chính xác.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm gốm Semicorex SiC mang lại hiệu suất chưa từng có trong môi trường yêu cầu khả năng chống mài mòn, chống ăn mòn và ổn định nhiệt độ cao. Sản phẩm này được thiết kế để sử dụng làm tấm lót và các bộ phận hỗ trợ trong nhiều ứng dụng đòi hỏi khắt khe.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐĩa gốm Semicorex AlN nổi bật như một loại vật liệu có khả năng vượt trội, được đánh giá cao nhờ sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính nhiệt, cơ và điện. Tại Semicorex, chúng tôi đi đầu trong việc sản xuất Đĩa gốm AlN, đảm bảo rằng các thành phần này đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của công nghệ hiện đại và ứng dụng công nghiệp.**
Đọc thêmGửi yêu cầuSi3N4 của Semicorex là vật liệu linh hoạt và hiệu suất cao mang đến sự kết hợp độc đáo giữa mật độ thấp, độ cứng vượt trội, khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định nhiệt và hóa học đặc biệt.**
Đọc thêmGửi yêu cầuChức năng chính của Đầu kẹp chân không bằng gốm xốp Semicorex nằm ở khả năng cung cấp khả năng thấm nước và không khí đồng đều, một tính năng đảm bảo sự phân bổ ứng suất đồng đều và độ bám dính chắc chắn của các tấm silicon. Đặc tính này rất quan trọng trong quá trình mài vì nó ngăn tấm bán dẫn bị trượt, nhờ đó duy trì tính toàn vẹn của hoạt động.**
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng Alumina Semicorex là thành phần quan trọng trong nhiều ứng dụng công nghiệp, nổi tiếng với khả năng chịu được môi trường khắc nghiệt và nhiệt độ cao.**
Đọc thêmGửi yêu cầu