Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Cánh tay robot gốm Semicorex Alumina, còn được gọi là cánh tay robot gốm xử lý wafer hoặc nĩa xử lý wafer silicon gốm, là một thành phần thiết bị bán dẫn hiệu suất cao. Thiết kế của nó có tính đến các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn. Với khả năng chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn, ổn định hóa học và đặc tính cách điện tuyệt vời, cánh tay gốm alumina đóng một vai trò không thể thay thế trong ngành sản xuất chất bán dẫn toàn cầu. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Cánh tay robot bằng gốm Alumina hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuCác đặc tính vật liệu tiên tiến của Ống lò khuếch tán Semicorex SiC, bao gồm độ bền uốn cao, khả năng chống oxy hóa và ăn mòn vượt trội, khả năng chống mài mòn cao, hệ số ma sát thấp, tính chất cơ học ở nhiệt độ cao vượt trội và độ tinh khiết cực cao, khiến nó không thể thiếu trong ngành bán dẫn , đặc biệt cho các ứng dụng lò khuếch tán. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Ống lò khuếch tán SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuVới đặc tính vật liệu chất lượng cao, Thuyền khuếch tán Semicorex SiC thể hiện chức năng tối ưu trên nhiều thông số vận hành: độ cứng, khả năng phục hồi, khả năng chịu nhiệt và hóa chất, v.v. Sự lựa chọn vật liệu này rất quan trọng trong việc giảm rủi ro ô nhiễm, bảo vệ tấm bán dẫn và độ bền lâu dài. các điều kiện khắt khe hiện diện trong quy trình chế tạo chất bán dẫn. Chúng tôi tại Semicorex chuyên sản xuất và cung cấp Thuyền khuếch tán SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm khắc Semicorex ICP là một thành phần tiên tiến, hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng bán dẫn, được chế tạo từ vật liệu Silicon Carbide (SiC). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm phản xạ Semicorex SiC là thành phần then chốt trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm truyền nhiệt gốm Semicorex SiC, dựa trên SiC làm vật liệu chính, trải qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao ở 2250°C, tạo ra thân gốm dày đặc không có độ xốp, được thủy tinh hóa cao với hàm lượng SiC ≥99,3%. Với độ bền uốn ≥410MPa và độ dẫn nhiệt 140W/m.k, những loại gốm sứ này là vật liệu duy nhất có khả năng chịu được sự ăn mòn từ các axit mạnh như axit hydrofluoric (HF) và axit sulfuric (H2SO4) trong ngành bán dẫn. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Tấm truyền nhiệt gốm SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí. **
Đọc thêmGửi yêu cầu