Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Si3N4 của Semicorex là vật liệu linh hoạt và hiệu suất cao mang đến sự kết hợp độc đáo giữa mật độ thấp, độ cứng vượt trội, khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định nhiệt và hóa học đặc biệt.**
Đọc thêmGửi yêu cầuChức năng chính của Đầu kẹp chân không bằng gốm xốp Semicorex nằm ở khả năng cung cấp khả năng thấm nước và không khí đồng đều, một tính năng đảm bảo sự phân bổ ứng suất đồng đều và độ bám dính chắc chắn của các tấm silicon. Đặc tính này rất quan trọng trong quá trình mài vì nó ngăn tấm bán dẫn bị trượt, nhờ đó duy trì tính toàn vẹn của hoạt động.**
Đọc thêmGửi yêu cầuỐng Alumina Semicorex là thành phần quan trọng trong nhiều ứng dụng công nghiệp, nổi tiếng với khả năng chịu được môi trường khắc nghiệt và nhiệt độ cao.**
Đọc thêmGửi yêu cầuĐĩa gốm PBN của Semicorex được tổng hợp thông qua quy trình lắng đọng hơi hóa học phức tạp (CVD), sử dụng boron trichloride (BCl3) và amoniac (NH3) ở nhiệt độ cao và áp suất thấp. Phương pháp tổng hợp này tạo ra vật liệu có độ tinh khiết đặc biệt và tính toàn vẹn về cấu trúc, khiến nó trở thành vật liệu không thể thiếu đối với nhiều ứng dụng trong ngành bán dẫn.**
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại Semicorex ZrO2 được chế tạo từ gốm zirconia ổn định, có thành phần tiêu chuẩn gồm 94,7% zirconium dioxide (ZrO2) và 5,2% yttri oxit (Y2O3) theo phần trăm trọng lượng, hoặc cách khác là 97% ZrO2 và 3% Y2O3 theo phần trăm mol. Công thức chính xác này mang lại cho Nồi nấu kim loại ZrO2 một loạt các đặc tính thuận lợi đáp ứng đặc biệt nhu cầu của các quy trình công nghiệp hiệu suất cao.**
Đọc thêmGửi yêu cầuLưỡi cắt Semicorex Al2O3, đã được thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng nhu cầu khắt khe về quy trình cắt trong nhiều ngành công nghiệp, bao gồm nhưng không giới hạn ở màng và giấy bạc, ứng dụng y tế và lắp ráp phức tạp các linh kiện điện tử.**
Đọc thêmGửi yêu cầu