Máy thao tác gốm Alumina

Máy thao tác gốm Aluminarất dễ bị nhiễm bẩn từ các hạt khác, vì vậy chúng thường được xử lý trong môi trường chân không để đảm bảo sạch sẽ. Bộ điều khiển gốm Alumina sử dụng lực hút áp suất âm để loại bỏ các tấm bán dẫn và vận chuyển các tấm bán dẫn thông qua các chuyển động thu gọn, xoay và nâng của cánh tay. Có các lỗ khí và rãnh thông gió bên trong bộ điều khiển gốm alumina, có thể tạo thành chân không khi bơm không khí, để các tấm bán dẫn có thể được hấp phụ khi tiếp xúc với ánh sáng mà không bị chèn ép hoặc làm hỏng các tấm bán dẫn.Tấm siliconrất dễ bị nhiễm bẩn từ các hạt khác, vì vậy chúng thường được xử lý trong môi trường chân không để đảm bảo sạch sẽ. Bộ điều khiển gốm Alumina sử dụng lực hút áp suất âm để loại bỏ các tấm bán dẫn và vận chuyển các tấm bán dẫn thông qua các chuyển động thu gọn, xoay và nâng của cánh tay. Có các lỗ khí và rãnh thông gió bên trong bộ điều khiển gốm alumina, có thể tạo thành chân không khi bơm không khí, để các tấm bán dẫn có thể được hấp phụ khi tiếp xúc với ánh sáng mà không bị chèn ép hoặc làm hỏng các tấm bán dẫn.

Người ta biết rằng thành phần củagốm aluminanghĩa là sức mạnh của nó sẽ càng cao. Bộ điều khiển gốm alumina Semicorex được làm bằng gốm alumina có độ tinh khiết cao. Điều này dẫn đến độ bền cơ học và độ cứng đặc biệt. Khả năng chống mài mòn của chúng vượt xa thép và thép mạ crôm, cho phép chúng duy trì độ chính xác bề mặt theo thời gian trong môi trường có độ ma sát cao, giảm nguy cơ trầy xước tấm bán dẫn và khiến chúng trở nên lý tưởng để xử lý với độ chính xác cao. Bộ điều khiển gốm alumina này có điện trở suất cao. Đặc tính cách điện vượt trội của nó có thể ngăn chặn nhiễu tĩnh điện một cách hiệu quả và giảm nguy cơ hấp phụ hạt để duy trì bề mặt wafer sạch sẽ. Hơn nữa, quy trình sản xuất chất bán dẫn liên quan đến các mạch phức tạp và môi trường điện áp cao bên trong thiết bị. Bộ điều khiển bằng gốm alumina có điện trở cao ngăn chặn hiệu quả sự dẫn điện, đảm bảo an toàn về điện trong quá trình xử lý tấm bán dẫn. Nhờ khả năng chịu nhiệt độ cao và ổn định nhiệt của gốm alumina, bộ điều khiển biến dạng rất ít trong quá trình xử lý nhiệt bán dẫn, có thể định vị chính xác các tấm wafer và tránh sai lệch chính xác do biến dạng nhiệt. Hơn nữa, vật liệu này có độ ổn định hóa học tuyệt vời và có khả năng chống ăn mòn cao bởi axit, kiềm, kim loại nóng chảy, v.v. Không dễ phản ứng với các chất khác để giải phóng các hạt ô nhiễm và có thể bảo vệ hiệu quả các bộ phận bán dẫn khỏi ô nhiễm hóa học.