Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm

Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm Semicorex là thành phần hấp phụ tĩnh điện chính xác được làm bằng gốm alumina và nhôm nitrit hiệu suất cao, sử dụng nguyên lý hấp phụ tĩnh điện để kẹp và cố định các tấm bán dẫn. Nó được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Semicorex có công nghệ tiên tiến, vật liệu chất lượng cao và sản phẩm có giá thành hợp lý. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác cung cấp đáng tin cậy của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

우수한 스텝 커버리지: 후속 박막 증착 공정에서 사다리꼴의 경사진 구조는 재료(예: 금속)를 더 쉽게 균일하게 덮고 가파른 모서리에서 파손을 방지합니다.là các thành phần chính xác sử dụng trường tĩnh điện được tạo ra giữa các điện cực và tấm bán dẫn để kẹp và cố định các tấm bán dẫn. Chúng được ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực như chất bán dẫn, màn hình phẳng và quang học, đồng thời là thành phần cốt lõi của thiết bị cao cấp như thiết bị PVD, máy khắc và máy cấy ion.

So với mâm cặp cơ khí và mâm cặp chân không truyền thống, mâm cặp tĩnh điện bằng gốm có nhiều ưu điểm trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm này sử dụng tĩnh điện để làm phẳng và giữ đều các tấm bán dẫn trên bề mặt của nó. Lực hấp phụ đồng đều này có thể giữ cho vật bị hấp phụ tương đối phẳng, tránhbánh xốpcong vênh hoặc biến dạng có thể do mâm cặp cơ khí truyền thống hoặcvà đảm bảo rằng tấm bán dẫn duy trì độ chính xác xử lý phù hợp với các quy trình bán dẫn có độ chính xác cao.và đảm bảo rằng tấm bán dẫn duy trì độ chính xác xử lý phù hợp với các quy trình bán dẫn có độ chính xác cao.

Một số mâm cặp tĩnh điện bằng gốm có chức năng gia nhiệt tích hợp, có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ tấm bán dẫn thông qua khí thổi ngược hoặc điện cực gia nhiệt bên trong, thích ứng với các yêu cầu nhiệt độ nghiêm ngặt của các quy trình khác nhau và cải thiện độ ổn định xử lý.

Không giống như mâm cặp cơ học, mâm cặp tĩnh điện bằng gốm làm giảm các bộ phận chuyển động cơ học, giảm tác động của các hạt gây ô nhiễm đến chất lượng tấm bán dẫn, bảo vệ hiệu quả độ sạch của bề mặt tấm bán dẫn và cải thiện năng suất sản phẩm.

Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm có khả năng tương thích rộng. Chúng có thể chứa các tấm bán dẫn có kích thước và vật liệu khác nhau, bao gồm silicon, gali arsenide và cacbua silic, đáp ứng nhu cầu sản xuất chất bán dẫn đa dạng.