Semicorex là đối tác của bạn để cải thiện quy trình xử lý chất bán dẫn. Lớp phủ cacbua silic của chúng tôi dày đặc, chịu được nhiệt độ cao và kháng hóa chất, thường được sử dụng trong toàn bộ chu trình sản xuất chất bán dẫn, bao gồm xử lý tấm bán dẫn & tấm bán dẫn cũng như chế tạo chất bán dẫn.
Các thành phần gốm SiC có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với các quá trình trong chất bán dẫn. Phạm vi cung cấp của chúng tôi bao gồm từ các bộ phận tiêu hao cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như thuyền bán dẫn bằng Silicon Carbide, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. cho Epitaxy hoặc MOCVD.
Ưu điểm cho quá trình bán dẫn
Các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit hoặc cấy ion phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp cấu trúc cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội và khả năng kháng hóa chất bền bỉ, thậm chí có độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi ổn định.
Nắp buồng →
Nắp buồng được sử dụng trong quá trình phát triển tinh thể và xử lý tấm bán dẫn phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Mái Chèo Côngxon →
Mái chèo côngxon là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong lò khuếch tán hoặc lò LPCVD trong các quy trình như khuếch tán và RTP.
Ống xử lý →
Process Tube là một thành phần quan trọng, được thiết kế đặc biệt trong các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau như RTP, khuếch tán.
Thuyền bánh quế →
Thuyền wafer được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn, nó được thiết kế tỉ mỉ để đảm bảo các tấm wafer mỏng manh được giữ an toàn trong các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất.
Vòng đầu vào →
Vòng nạp khí được phủ SiC bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt.
Vòng lấy nét →
Semicorex cung cấp vòng lấy nét được phủ Silicon Carbide thực sự ổn định cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Kẹp bánh quế →
Mâm cặp bán dẫn chân không bằng gốm siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý bán dẫn.
Semicorex còn có các sản phẩm gốm sứ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic,..
Mái chèo đúc hẫng SiC tùy chỉnh của Semicorex đã trở thành một thành phần không thể thiếu trong ngành quang điện, đóng một vai trò quan trọng trong việc xử lý hiệu quả và chính xác các tấm silicon trong quá trình khuếch tán ở nhiệt độ cao. Mái chèo đúc hẫng SiC tùy chỉnh, được thiết kế tỉ mỉ từ gốm silicon cacbua (SiC) hiệu suất cao, mang đến sự kết hợp độc đáo các đặc tính cần thiết để duy trì tính toàn vẹn của tấm bán dẫn, đảm bảo tính đồng nhất của quy trình và tối đa hóa năng suất trong môi trường lò khuếch tán đòi hỏi khắt khe.**
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng bi Semicorex SiC với độ cứng, sức bền và độ trơ hóa học đặc biệt, đã nổi lên như một vật liệu nền tảng cho các ứng dụng đòi hỏi kỹ thuật trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau. Khi được chế tạo thành vòng bi, SiC mở ra một cấp độ mới về hiệu suất và độ tin cậy, đặc biệt trong các môi trường đặc trưng bởi nhiệt độ khắc nghiệt, các chất ăn mòn và yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Vòng bi SiC hiệu suất cao kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng đệm silicon cacbua Semicorex đã nổi lên như một công nghệ hỗ trợ quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn, mang lại hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời khi đối mặt với các điều kiện quy trình ngày càng đòi hỏi khắt khe. Sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính vật liệu của chúng khiến nó trở nên lý tưởng cho nhiều ứng dụng, đảm bảo thời gian hoạt động của thiết bị tối ưu, vòng đời linh kiện kéo dài và cuối cùng là tổng chi phí sở hữu thấp hơn. Chúng tôi tại Semicorex chuyên sản xuất và cung cấp Vòng đệm silicon cacbua hiệu suất cao kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng cách điện Semicorex Aluminium Nitride là thành phần không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, đặc biệt là trong các quy trình xử lý nhiệt tần số cao. Sự kết hợp độc đáo giữa độ ổn định ở nhiệt độ cao, đặc tính bịt kín vượt trội, độ dẫn nhiệt đặc biệt và độ bền vốn có khiến chúng trở nên cần thiết để đảm bảo kiểm soát quy trình chính xác, năng suất thiết bị cao và kéo dài tuổi thọ thiết bị trong môi trường đòi hỏi khắt khe của chế tạo chất bán dẫn. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Vòng cách điện bằng nhôm Nitride hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu cặp tĩnh điện Semicorex Aluminium Nitride cung cấp sự kết hợp hấp dẫn giữa các đặc tính khiến chúng phù hợp lý tưởng với các yêu cầu khắt khe về xử lý tấm bán dẫn. Khả năng cung cấp khả năng kẹp wafer an toàn và đồng nhất, quản lý nhiệt tuyệt vời và khả năng chống chịu với môi trường xử lý khắc nghiệt giúp cải thiện hiệu suất thiết bị, năng suất cao hơn và giảm chi phí sản xuất. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Đầu cặp tĩnh điện bằng nhôm Nitride hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuMâm cặp kiểm tra wafer Semicorex SiC là công cụ hỗ trợ quan trọng cho quá trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, giải quyết các nhu cầu ngày càng tăng về độ chính xác, độ sạch và thông lượng. Đặc tính vật liệu vượt trội của chúng mang lại lợi ích hữu hình trong suốt quá trình chế tạo tấm bán dẫn, cuối cùng góp phần mang lại năng suất cao hơn, cải thiện hiệu suất thiết bị và giảm chi phí sản xuất tổng thể. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Mâm cặp kiểm tra wafer SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầu