Ống sic

Các đường ống sic bán nguyệt là các bộ phận gốm cho các hệ thống lò bán dẫn.  Chúng có các tính chất duy nhất bao gồm truyền nhiệt cao và nhiệt độ cao và kháng hóa chất được yêu cầu trong các ứng dụng bán dẫn trong đó có các điều kiện môi trường nhiệt độ cao và hóa học cực cao được dự kiến ​​và ở nơi các tính chất là mong muốn - độ bền, hiệu quả năng lượng và điều kiện quá trình ổn định duy nhất - cho phép sử dụng để tạo kinh tế trong môi trường sản xuất.

PIPES SIC SICSCarbide siliconđược sản xuất để có sự ổn định cơ học ở nhiệt độ cao đặc biệt là kết quả của các phương pháp và kỹ thuật kết tinh và kết tinh tiên tiến. Việc hỗ trợ SIC hiệu suất cao dẫn đến cường độ cơ học đặc biệt và khả năng duy trì độ ổn định nhiệt ở nhiệt độ hoạt động cao. SIC có độ cứng đặc biệt giảm thiểu mặc, hoặc biến dạng tiềm năng.  Ngoài ra, các thuộc tính liên quan đến các đặc tính SIC là hệ số nhiên liệu thấp của sự giãn nở nhiệt có lợi vì chúng hạn chế ứng suất nhiệt vì sẽ có các yêu cầu để đạp xe vật liệu này giữa nhiệt độ cực cao và nhiệt thấp. Trong tất cả các cân nhắc này, chúng có một tiện ích đặc biệt cho các ứng dụng lý tưởng trong các lò khuếch tán, lò oxy hóa và các hệ thống LPCVD/PECVD để duy trì tối đa các điều kiện quy trình ổn định có lợi để loại bỏ hoặc giới hạn, các khiếm khuyết cũng là số liệu liên quan đến wafer hoặc vật liệu với các điều kiện quá trình ổn định cao.

Một tiện ích quan trọng khác của các ống SIC là hồ sơ dẫn nhiệt cao trong các điều kiện cụ thể và các thiết kế lò áp dụng để tạo ra tốc độ dẫn điện cao và, chủ yếu, phân phối nhiệt độ đồng đều và ổn định trong suốt quá trình.  Hành vi đáng tin cậy này cho phép các tấm wafer tiếp xúc với các phân phối nhiệt độ bán bình đẳng trong các khoảng thời gian hợp lý và ngoài ra để hạn chế độ dốc nhiệt để giảm thiểu các tấm wafer bị biến dạng và/hoặc đào tẩu trong khi cải thiện hơn cả các điều kiện lắng đọng.

Sự ổn định hóa học và sức đề kháng là một yếu tố hiệu suất quan trọng khác.  Trong các quá trình bán dẫn, ống lò phải chịu ảnh hưởng của các khí phản ứng cao bao gồm oxy, hydro, amoniac và tất cả các halogen, có thể làm suy giảm các vật liệu thông thường theo kiểu nhanh chóng. Cấu trúc vi mô dày đặc và không xốp, cùng với tính chất trơ hóa học của SIC, bảo vệ nó chống lại quá trình oxy hóa và ăn mòn trong khi cung cấp hiệu suất hoạt động và cơ học ở môi trường quá trình cực đoan.  Độ bền của các lò SIC giúp họ duy trì tính toàn vẹn của hình thức và độ chính xác về chiều trong thời gian dài, điều này rất quan trọng đối với kiểm soát và ổn định quá trình.

Các ống SIC có thể được sản xuất trong một loạt các kích cỡ và độ dày tường, có hình dạng hình học để phù hợp với thiết kế lò và nhu cầu xử lý.  Các đặc tính gia công chính xác chính xác cũng được duy trì trong quá trình thiết kế và sản xuất các ống SIC để dung sai hoạt động có thể chặt chẽ, với các bề mặt bên trong mịn và đồng tâm tuyệt vời để duy trì sự cân bằng của dòng khí tầng và cấu hình nhiệt đồng đều. Đánh bóng bề mặt và lớp phủ có thể được cung cấp như là lựa chọn điều trị sẽ tăng cường hiệu suất bằng cách giảm sự tạo ra hạt và cải thiện khả năng chống ăn mòn.

Các ống SIC có lợi thế hoạt động và chi phí rõ ràng so với các vật liệu thay thế như ống thạch anh hoặc alumina.  Chi phí ban đầu cho các thành phần SIC có thể cao hơn một chút, nhưng tuổi thọ của sản phẩm, việc giảm vỡ và yêu cầu bảo trì thấp hơn dẫn đến tổng chi phí sở hữu thấp hơn chi phí thấp hơn các vật liệu và đường ống thay thế.

Để kết luận, SemicorexSicCác đường ống là lựa chọn tốt nhất cho các ứng dụng lò bán dẫn, vì chúng cung cấp hiệu suất nhiệt tốt nhất, cường độ cơ học, kháng hóa chất và độ tin cậy cho môi trường sản xuất đòi hỏi. Vật liệu này cải thiện sự ổn định của quá trình và hỗ trợ tiết kiệm và hiệu quả chi phí đường xuống (nghĩa là mức tiêu thụ năng lượng thấp hơn). Các ống SIC là một vật liệu cơ bản cho chế tạo chất bán dẫn hiện đại.