Mái chèo SiC

Cánh khuấy Semicorex SiC là “vật mang” wafer, đưa wafer vào lò nung nóng hơn 1000 độ C. Đây là lợi ích chính của chúng: độ tinh khiết cao, ổn định ở nhiệt độ cao, duy trì độ cứng cơ học khi vận chuyển mẫu trong môi trường khắc nghiệt. Vật liệu có độ tinh khiết cao có hiệu quả trong việc ngăn chặn các tạp chất kim loại làm nhiễm bẩn tấm bán dẫn; độ ổn định nhiệt độ cao củacacbua silic, vì nó sẽ duy trì sự ổn định hóa học ở nhiệt độ xử lý nhằm ngăn chặn sự thoát khí của tạp chất hoặc các hạt kim loại khỏi làm nhiễm bẩn tấm bán dẫn, đảm bảo hiệu suất bán bán dẫn ổn định. Cuối cùng,mái chèo đúc hẫngcũng tương thích với các hệ thống chuyển wafer tích hợp, tiếp tục giảm bớt sự phụ thuộc vào con người và tăng thông lượng.

Mái chèo SiC là thành phần độc đáo của chất mang, đặc biệt để vận chuyển và tích hợp tấm bán dẫn vào khối lượng công việc hàng loạt trong các quy trình như oxy hóa và khuếch tán ở nhiệt độ cao, cùng nhiều quy trình khác. Được làm với độ tinh khiết caocacbua silic (SiC), Mái chèo SiC cung cấp độ ổn định nhiệt, độ bền cơ học và độ bền hóa học để đảm bảo vận chuyển ổn định ở nhiệt độ trên 1000 °C. Cần có mái chèo SiC để xử lý tấm bán dẫn: nó sẽ đảm bảo rằng các chất nền mỏng manh có thể được xử lý thích hợp trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn và nhất quán trong suốt quá trình oxy hóa, khuếch tán và ủ.

Được thiết kế để chắc chắn và đáng tin cậy, Mái chèo SiC là cánh tay kiểu đúc hẫng để giữ các thuyền bán dẫn hoặc các ngăn xếp bán bán dẫn. Cánh khuấy hỗ trợ các tấm bán dẫn trong khi chúng được đưa vào hoặc lấy ra khỏi buồng xử lý. Vật liệu thông thường bị hỏng ở nhiệt độ cao này do biến dạng, cong vênh hoặc suy thoái hóa học. Độ ổn định cơ học và tính toàn vẹn về cấu trúc của cacbua silic cho phép cánh khuấy tồn tại qua nhiều chu kỳ nhiệt mà không bị mất hình dạng hoặc chức năng. Khả năng này rất quan trọng để duy trì sự liên kết của lò, đảm bảo các tấm bán dẫn không bị hư hỏng trong quá trình xử lý và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động tốn kém.

Độ ổn định nhiệt của SiC Paddles được bổ sung bằng khả năng kháng hóa chất tuyệt vời đối với các khí phản ứng thường xuất hiện trong quá trình oxy hóa và khuếch tán (ví dụ: oxy, clo và các chất gây hại khác ở nhiệt độ cao). Nhiều vật liệu sẽ bị phá hủy hoặc bị ô nhiễm khi tiếp xúc với cả nhiệt độ cao và oxy. Cacbua silic trơ về mặt hóa học và cấu trúc vi mô dày đặc của nó đảm bảo rằng các phản ứng hóa học sẽ không xảy ra, mang lại sự toàn vẹn về cấu trúc cánh khuấy và môi trường sạch sẽ cho tấm bán dẫn. Rủi ro ô nhiễm được giữ ở mức tối thiểu đối với các nhà sản xuất chất bán dẫn hoạt động tại một số nút quy trình tiên tiến nhất mà ngay cả các nguyên tố vi lượng của chất gây ô nhiễm cũng có thể tạo ra những thay đổi đáng kể về hiệu suất của thiết bị.

Tính toàn vẹn về mặt cơ học của Mái chèo SiC cũng mang lại giá trị trong quá trình xử lý. Dạng kết cấu đúc hẫng yêu cầu vật liệu có thể giữ trọng lượng của các lớp xếp chồng lên nhau và không bị uốn cong hoặc chùng xuống. Mô đun rất cao và độ cứng rất cao của cacbua silic làm cho nó trở thành sự lựa chọn tốt cho chức năng kết cấu cơ học cần thiết. Mái chèo SiC vẫn giữ được cả độ phẳng và cấu trúc ngay cả khi được nạp bằng tấm bán dẫn. Điều này có nghĩa là phải kiểm soát liên tục lò và các điều kiện của nó trong thời gian sản xuất dài.