Mâm cặp gốm xốp tùy chỉnh

tùy chỉnhmâm cặp gốm xốpbao gồm đế và tấm gốm xốp. Kết nối với hệ thống chân không, môi trường áp suất thấp được tạo ra bằng cách hút không khí giữa tấm bán dẫn và gốm. Dưới áp suất âm chân không, wafer được gắn chắc chắn vào bề mặt mâm cặp, cuối cùng đạt được sự cố định và định vị an toàn và ổn định.

Semicorex luôn ưu tiên các nhu cầu cơ bản của khách hàng quý giá của chúng tôi đồng thời cung cấp các dịch vụ cao cấp và được cá nhân hóa. Chúng tôi cung cấp nhiều lựa chọn tùy chọn để đảm bảo rằng mâm cặp gốm xốp tùy chỉnh cuối cùng thích ứng liền mạch với các phôi có hình dạng và kích cỡ khác nhau, từ đó nâng cao hiệu quả hiệu quả vận hành thiết bị và độ ổn định trong sản xuất.

Các thông số kỹ thuật:

Mâm cặp gốm xốp tùy chỉnh được gia công chính xác giúp phân bổ lực hấp phụ đồng đều trên bề mặt phôi, ngăn ngừa hiệu quả biến dạng phôi hoặc độ không chính xác khi gia công do tác dụng lực không đồng đều. Hơn nữa, nhờ khả năng chống ăn mòn hóa học mạnh mẽ và khả năng chịu nhiệt độ cao đặc biệt, mâm cặp gốm xốp tùy chỉnh duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường sản xuất phức tạp và đầy thử thách.

Các kịch bản ứng dụng:

1. Sản xuất chất bán dẫn: Xử lý tấm bán dẫn như làm mỏng tấm bán dẫn, thái hạt lựu, mài, đánh bóng; quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi vật lý (PVD); cấy ion.

2. Sản xuất tế bào quang điện: Quy trình cắt, phủ và đóng gói tấm bán dẫn silicon trong tế bào quang điện.

3. Gia công chính xác: Kẹp và cố định các phôi mỏng, dễ vỡ hoặc có độ chính xác cao.