Ống xử lý SiC

Ống xử lý Semicorex SiC là thành phần cấu trúc quan trọng trong quá trình oxy hóa, khuếch tán, RTA/RTP trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Nó thường là một ống có đường kính lớn làm không gian lò phản ứng, tất cả các quá trình hóa học sẽ diễn ra bên trong. Vì thế độ bền, khả năng chống sốc nhiệt đều là những điểm rất cơ bản cho sản phẩm.

Các ống xử lý SiC được chế tạo bởicacbua silic thiêu kết, nó có thể là SiSiC, SSiC hoặc RSiC và lớp phủ CVD SiC trên bề mặt sẽ tạo thành lớp có độ tinh khiết cực cao. Nó có thể ngăn ngừa ô nhiễm bởi các hạt, tro, v.v. Và vật liệu có khả năng chống sốc nhiệt rất cao nên ống xử lý SiC có thể ổn định ở nhiệt độ cao và ngăn chặn các tạp chất kết tủa ở nhiệt độ cao và do đó gây ô nhiễm môi trường.

Ống xử lý SiC này được thiết kế để sử dụng trong môi trường có khí phản ứng (oxy), khí bảo vệ (nitơ) và lượng khí hydro clorua tối thiểu, đồng thời có khả năng kháng hóa chất vượt trội, ổn định nhiệt và độ tinh khiết vật liệu đến 1250°C. Ống xử lý Semicorex SiC kết hợp quy trình sản xuất in 3D tiên tiến với lớp phủ lắng đọng hơi hóa học (CVD) để mang lại hiệu suất và tuổi thọ vượt trội trong các điều kiện nhiệt và hóa học khắc nghiệt nhất.

Ống xử lý Semicorex SiC được sản xuất thông qua quy trình đúc tích hợp in 3D thay vì ống được tạo hình hoặc lắp ráp thông thường. Quy trình sản xuất này cho phép tạo ra cấu trúc gốm liên tục, nhất quán, không có mối nối và vùng yếu, tạo ra độ phức tạp cao và độ chính xác về kích thước, có thể làm giảm nồng độ ứng suất đồng thời tăng cường độ bền cơ học. Hơn nữa, cấu trúc nguyên khối mang lại khả năng bịt kín khí tự nhiên, giảm ô nhiễm và rò rỉ trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao.

cácSiCcủa cơ thể là vật liệu có tạp chất cực thấp (<300 ppm), mang lại độ tinh khiết và ổn định vật liệu tuyệt vời cho môi trường phản ứng. Ngoài ra, ống còn được phủ một lớp silicon cacbua CVD (<5 ppm) để cải thiện khả năng chống ăn mòn và bảo vệ bề mặt.

Semicorex cung cấp dịch vụ tùy chỉnh, chúng tôi có thể sản xuất theo bản vẽ của khách hàng, đáp ứng yêu cầu về thông số kỹ thuật cần thiết. Vì vậy, ống xử lý Semicorex SiC có thể thay thế phù hợp không chỉ cho lò ngang mà còn cho lò đứng.