Ống lò tráng SiC CVD

Semicorex CVD được phủ SiCống lòlà các ống xử lý có đường kính lớn cung cấp buồng phản ứng ổn định để xử lý tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao. Chúng được chế tạo để hoạt động trong môi trường có chứa oxy (khí phản ứng), nitơ (khí bảo vệ) và một lượng nhỏ hydro clorua, với nhiệt độ hoạt động ổn định khoảng 1250 độ C.

Ưu điểm của ống lò phủ Semicorex CVD SiC

1. Công nghệ đúc tiên tiến và sản xuất tùy biến linh hoạt

Được hình thành nhờ công nghệ in 3D, SemicorexCVD SiC-Ống lò tráng có cấu trúc gốm liền mạch, liền mạch mà không có bất kỳ khu vực yếu nào. Công nghệ đúc này đảm bảo độ kín khí đặc biệt, giúp ngăn chặn hiệu quả các chất gây ô nhiễm bên ngoài và duy trì nhiệt độ, áp suất và môi trường khí quyển cần thiết cho quá trình xử lý tấm bán dẫn.

Ngoài ra, công nghệ in 3D còn hỗ trợ sản xuất các hình dạng phức tạp và kiểm soát kích thước chính xác. Sản xuất tùy chỉnh có sẵn về đường kính, chiều dài, độ dày thành và dung sai theo các yêu cầu khác nhau để đảm bảo khả năng tương thích hoàn toàn với lò nung dọc hoặc ngang của khách hàng.

2. Lựa chọn vật liệu tỉ mỉ và kiểm soát độ sạch

Ống lò phủ Semicorex CVD SiC được chế tạo từ vật liệu có độ tinh khiết cao cấp bán dẫn được lựa chọn cẩn thận. Hàm lượng tạp chất trong nền của chúng được kiểm soát ở mức dưới 300 PPM và hàm lượng tạp chất của lớp phủ CVD SiC được giới hạn ở mức dưới 5 PPM. Việc kiểm soát độ tinh khiết nghiêm ngặt này làm giảm đáng kể ô nhiễm tấm bán dẫn do tạp chất kim loại kết tủa trong điều kiện vận hành ở nhiệt độ cao, giúp cải thiện đáng kể năng suất và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn cuối cùng. Ngoài ra, việc sử dụng lớp phủ CVD SiC giúp tăng cường khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học và ổn định nhiệt của ống lò được phủ Semicorex CVD SiC, từ đó kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng của chúng trong điều kiện vận hành khắc nghiệt.

Với rất nhiều ưu điểm, ống lò được phủ Semicorex CVD SiC có thể cung cấp không gian phản ứng ổn định, phù hợp và siêu sạch để xử lý tấm bán dẫn. Sự phân bố nhiệt độ nhất quán và bầu không khí khí ổn định bên trong lò, được thực hiện nhờ các ống lò được phủ Semicorex CVD SiC, giúp đạt được sự khuếch tán pha tạp, oxy hóa nhiệt, ủ và lắng đọng màng mỏng chính xác hơn.