Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Vòng phủ cacbua Semicorex Tantalum là thành phần quan trọng được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn. Nó được thiết kế với một lớp phủ chuyên dụng phục vụ nhiều chức năng nhằm nâng cao hiệu quả và tuổi thọ của các thành phần than chì trong máy móc bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuCác bộ phận than chì được phủ Semicorex TaC là các bộ phận được chế tạo chính xác, được thiết kế đặc biệt để chịu được môi trường đòi hỏi khắt khe của quá trình xử lý chất bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuLớp phủ than chì Semicorex TaC đại diện cho một giải pháp tiên tiến trong lĩnh vực ứng dụng nhiệt cho quá trình phát triển tinh thể và epiticular (epi). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng phủ Semicorex TaC đóng vai trò là thành phần then chốt trong lĩnh vực phát triển đơn tinh thể trong trường nhiệt. Được chế tạo với độ chính xác và sự đổi mới, vòng dẫn hướng chuyên dụng này đóng một vai trò quan trọng trong quy trình sản xuất vật liệu đơn tinh thể phức tạp. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm wafer được phủ Semicorex TaC là thành phần quan trọng được sử dụng trong lò lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ kim loại (MOCVD) để xử lý epiticular (epi) bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm phủ cacbua Tantalum Semicorex TaC là một giải pháp tiên tiến được thiết kế để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong giai đoạn xử lý epiticular (epi). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu