Vòng đệm phủ TaC

Vòng đệm được phủ Semicorex TaC thể hiện tính trơ vượt trội đối với nhiều loại khí ăn mòn và hóa chất được sử dụng trong các quy trình bán dẫn, bao gồm các chất hóa học ăn mòn plasma (ví dụ: flo, clo, brom), các chất tạp chất (ví dụ: boron, phốt pho, asen) và các chất ăn mòn mạnh. chất tẩy rửa. Tính trơ này ngăn cản sự xuống cấp của vòng đệm và sự nhiễm bẩn của các buồng xử lý nhạy cảm.

Và với điểm nóng chảy vượt quá 3800°C, Vòng đệm được phủ TaC duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và độ bền cơ học ở nhiệt độ cao gặp phải trong quá trình xử lý tấm bán dẫn. Điều này đảm bảo hiệu suất bịt kín đáng tin cậy trong quá trình ủ, lắng đọng và ăn mòn ở nhiệt độ cao.

Độ cứng cực cao và hệ số ma sát thấp của Vòng đệm được phủ TaC mang lại khả năng chống mài mòn, trầy xước và mài mòn đặc biệt. Điều này rất quan trọng trong các ứng dụng bịt kín động, trong đó chuyển động hoặc tiếp xúc lặp đi lặp lại với các tấm bán dẫn và các bộ phận khác có thể dẫn đến việc tạo ra các hạt và hư hỏng phốt.

Vòng đệm được phủ TaC có tốc độ thoát khí rất thấp, ngay cả ở nhiệt độ cao, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng có độ chân không cao. Điều này đảm bảo độ tinh khiết của quy trình và ngăn chặn sự lắng đọng các chất gây ô nhiễm không mong muốn trên bề mặt wafer nhạy cảm.

Lợi ích cụ thể trong ứng dụng bán dẫn:

Tuổi thọ con dấu kéo dài:Vòng đệm được phủ TaC làm tăng đáng kể tuổi thọ của vòng đệm bằng cách cung cấp khả năng chống lại sự tấn công hóa học, suy thoái nhiệt và mài mòn cơ học vượt trội. Điều này làm giảm tần suất thay thế phốt, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì.

Cải thiện năng suất quy trình và chất lượng wafer:Bản chất trơ của Vòng đệm được phủ TaC giúp giảm thiểu việc tạo ra hạt và ô nhiễm, dẫn đến năng suất quy trình cao hơn và chất lượng wafer được cải thiện. Điều này rất quan trọng để sản xuất các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao với khả năng chịu lỗi nghiêm ngặt.

Nâng cao thời gian hoạt động và năng suất của thiết bị:Tuổi thọ con dấu dài hơn và giảm yêu cầu bảo trì góp phần tăng thời gian hoạt động của thiết bị và năng suất tổng thể. Điều này rất quan trọng để tối đa hóa sản lượng và đáp ứng nhu cầu sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn.