Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Vòng đệm được phủ Semicorex TaC được áp dụng cho các bộ phận bịt kín mang lại lợi thế về hiệu suất vượt trội trong các môi trường chế tạo chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe. Lớp phủ TaC giải quyết những thách thức quan trọng liên quan đến khả năng kháng hóa chất, nhiệt độ khắc nghiệt và mài mòn cơ học, mang lại năng suất quy trình cao hơn, tăng thời gian hoạt động của thiết bị và cuối cùng là giảm chi phí sản xuất. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Vòng đệm phủ TaC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm được phủ bằng cacbua Semicorex Tantalum là một thành phần quan trọng, đóng vai trò then chốt trong các quá trình lắng đọng cần thiết để tạo ra các tấm bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Tantalum Carbide Chuck là một thành phần tiên tiến được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn, nổi tiếng với các đặc tính cơ học và nhiệt đặc biệt. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng phủ Semicorex TaC là một thành phần quan trọng đáp ứng các yêu cầu khắt khe này. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu vòi hoa sen được phủ Semicorex TaC là một phần không thể thiếu trong quá trình lắng đọng hơi hóa học, mang lại hiệu suất và tuổi thọ vượt trội. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầuMâm cặp được phủ Semicorex TaC thể hiện sự tiến bộ đáng kể trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc*.
Đọc thêmGửi yêu cầu