Vòi sen phủ TaC

Đầu sen được phủ sơn Semicorex TaC là một thiết bị tiên tiến được sử dụng chủ yếu trong ngành bán dẫn. Nó là thành phần quan trọng trong quy trình CVD, trong đó các màng mỏng được lắng đọng trên các tấm bán dẫn. Chức năng chính của vòi hoa sen được phủ TaC là phân phối đồng đều khí phản ứng trên bề mặt tấm bán dẫn, đảm bảo lớp phủ đồng đều và chất lượng màng tối ưu.

Tantalum cacbua (TaC) được chọn để phủ đầu vòi hoa sen do đặc tính đặc biệt của nó. TaC được biết đến với độ cứng cực cao, điểm nóng chảy cao và độ ổn định nhiệt và hóa học tuyệt vời. Những đặc tính này làm cho vòi hoa sen được phủ TaC trở nên lý tưởng để chịu được các điều kiện khắc nghiệt của quy trình PECVD, nơi phổ biến nhiệt độ cao và các loại khí phản ứng. Lớp phủ TaC giúp tăng cường đáng kể độ bền và tuổi thọ của vòi hoa sen, giảm nhu cầu thay thế và bảo trì thường xuyên.

Thiết kế của vòi hoa sen phủ TaC được thiết kế tỉ mỉ để tối ưu hóa dòng khí và phân phối. Nó có vô số lỗ được đặt chính xác qua đó khí xử lý được đưa vào buồng phản ứng. Sự phân bố đồng đều của khí là rất quan trọng để đạt được sự lắng đọng màng đồng đều trên bề mặt wafer. Bất kỳ sự bất thường nào trong dòng khí đều có thể dẫn đến khuyết tật trên màng mỏng, ảnh hưởng xấu đến hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Đầu sen được phủ Semicorex TaC là một thành phần quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, mang lại hiệu suất và độ tin cậy chưa từng có. Các đặc tính đặc biệt của nó, bắt nguồn từ lớp phủ cacbua tantalum, đảm bảo độ bền và khả năng chống chịu với các điều kiện khắc nghiệt của quy trình PECVD. Với thiết kế chính xác và chức năng vượt trội, vòi sen được phủ TaC đóng vai trò quan trọng trong việc đạt được sự lắng đọng màng mỏng chất lượng cao, cuối cùng góp phần sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến. Khi ngành công nghiệp phát triển, tầm quan trọng của các thành phần cải tiến như vậy sẽ ngày càng tăng lên, mở đường cho thế hệ công nghệ bán dẫn tiếp theo.