Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền.
Tantalum cacbua (TaC) là một hợp chất bao gồm tantalum và carbon. Nó có tính dẫn điện bằng kim loại và điểm nóng chảy đặc biệt cao, khiến nó trở thành vật liệu gốm chịu lửa được biết đến với độ bền, độ cứng, khả năng chịu nhiệt và mài mòn. Điểm nóng chảy của Tantalum Carbide đạt đỉnh điểm vào khoảng 3880°C tùy thuộc vào độ tinh khiết và có một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong số các hợp chất nhị phân. Điều này làm cho nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn khi nhu cầu nhiệt độ cao hơn vượt quá khả năng hiệu suất được sử dụng trong các quy trình epiticular bán dẫn hỗn hợp như MOCVD và LPE.
Dữ liệu vật liệu của lớp phủ Semicorex TaC
Dự án |
Thông số |
Tỉ trọng |
14,3 (gm/cm³) |
Độ phát xạ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Độ cứng (HK) |
2000 |
Điện trở (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Ổn định nhiệt |
<2500oC |
Thay đổi kích thước than chì |
-10~-20um (giá trị tham khảo) |
Độ dày lớp phủ |
≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
|
|
Trên đây là những giá trị điển hình |
|
Chất nhạy cảm wafer được phủ Semicorex TaC là thành phần quan trọng được sử dụng trong lò lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ kim loại (MOCVD) để xử lý epiticular (epi) bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm phủ cacbua Tantalum Semicorex TaC là một giải pháp tiên tiến được thiết kế để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong giai đoạn xử lý epiticular (epi). Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng được phủ Semicorex TaC, đỉnh cao của sự đổi mới trong lò tăng trưởng đơn tinh thể SiC (Silicon Carbide). Được thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng nhu cầu chính xác của ngành bán dẫn, vòng dẫn hướng này hứa hẹn sẽ xác định lại quá trình phát triển tinh thể của bạn với độ chính xác và độ tin cậy tuyệt vời.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm bằng than chì phủ TaC tiên tiến của Semicorex, một thành phần mang tính cách mạng được thiết kế để nâng quy trình epiticular wafer của bạn lên tầm cao mới về hiệu quả và độ chính xác. Được chế tạo với chuyên môn vượt trội và sử dụng công nghệ tiên tiến, Chất nhạy cảm than chì phủ Semicorex TaC được thiết kế để đáp ứng nhu cầu chính xác của sản xuất chất bán dẫn.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex cung cấp các bộ phận than chì phủ Tantalum Carbide chất lượng cao với dịch vụ tùy chỉnh. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex cung cấp dịch vụ tùy chỉnh cho Chất nhạy cảm than chì phủ Tantalum Carbide. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu