Gốm cacbua tantalum xốp Semicorex là loại gốm xốp hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt trong quy trình vận chuyển hơi vật lý (PVT). Cấu trúc xốp đặc biệt và các đặc tính tuyệt vời của nó đóng vai trò quan trọng trong việc tạo điều kiện cho sự phát triển của tinh thể cacbua silic chất lượng cao. Bằng cách chọn Semicorex, bạn sẽ có được các giải pháp gốm xốp lý tưởng với chất lượng ổn định và hiệu suất ổn định cho hoạt động sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.
Gốm cacbua tantalum xốp Semicorex là vật liệu gốm nhiệt độ cực cao với nhiệt độ nóng chảy khoảng 3880oC, có thể duy trì hiệu suất ổn định trong môi trường hoạt động ở nhiệt độ cao và ăn mòn cao đầy thách thức nhờ các đặc tính hiệu suất tuyệt vời sau.
Nhiệt độ làm việc tối đa của xốp Semicorexgốm cacbua tantalumcó thể lên tới 3200oC và nó có thể hoạt động ổn định ở điều kiện phát triển tinh thể cacbua silic ở nhiệt độ cao trong một thời gian dài mà không bị biến dạng hoặc mềm đi.
Gốm cacbua tantalum xốp Semicorex thể hiện khả năng chống ăn mòn và chống oxy hóa tốt hơn so với gốm thông thường. Nó có hiệu quả có thể chịu được sự ăn mòn của oxy nhiệt độ cao và hơi Si trong quá trình phát triển tinh thể.
Gốm cacbua tantalum xốp Semicorex có các lỗ bên trong phân bố đồng đều, với độ xốp từ 10-60% (có thể tùy chỉnh) và tỷ lệ xuyên lỗ trên 98%. Cấu trúc đặc biệt này cho phép các nguyên tố ở pha hơi như Si và C chảy và khuếch tán trơn tru bên trong lò phát triển tinh thể, tạo điều kiện thuận lợi đáng kể cho sự phát triển của tinh thể chất lượng cao.
Trong quá trình phát triển tinh thể cacbua silic thông qua quy trình PVT, gốm tantalum cacbua xốp Semicorex hoạt động chủ yếu trong lọc phần tử pha hơi, điều chỉnh gradient nhiệt độ lò và dẫn hướng dòng nguyên liệu khí. Khác với các vật liệu than chì xốp được phủ TaC thông thường, gốm tantalum cacbua xốp Semicorex cho thấy những ưu điểm khác biệt: Loại bỏ các lỗ xốpThan chì phủ TaCNhược điểm của vật liệu là tỷ lệ xuyên lỗ thấp do xử lý lớp phủ, đồng thời tránh được điểm khó bong tróc lớp phủ của vật liệu than chì được phủ TaC xốp gặp phải trong quá trình sử dụng. Bằng cách sử dụng gốm tantalum cacbua xốp Semicorex, bạn có thể ức chế hiệu quả các khuyết tật bao gồm cacbon trong quá trình phát triển tinh thể cacbua silic, từ đó cải thiện đáng kể chất lượng phát triển tinh thể và năng suất sản phẩm.