Đĩa phân phối khí phủ SiC

Là ví dụ điển hình về vật liệu bán dẫn tiên tiến và công nghệ sản xuất tiên tiến, Semicorexphủ SiCđĩa chuyển khí được sản xuất chính xác từ than chì có độ tinh khiết cao làm nền của chúng với lớp phủ SiC dày đặc thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học. Đĩa chuyển khí được thiết kế chủ yếu để phân phối khí phản ứng đồng đều trên bề mặt wafer nhằm đảm bảo phản ứng đầy đủ trong quá trình xử lý, do đó tạo điều kiện thuận lợi cho việc hình thành các màng mỏng đơn tinh thể nhất quán và đồng nhất.

Ưu điểm của đĩa phân phối khí phủ Semicorex SiC

1. Độ tinh khiết vật liệu cao

Semicorex duy trì các tiêu chuẩn chất lượng sản phẩm nghiêm ngặt bắt đầu từ việc lựa chọn nguyên liệu cẩn thận. Nhờ kiểm soát độ tinh khiết nghiêm ngặt của nguyên liệu thô, đĩa phân phối khí được phủ Semicorex SiC mang lại hàm lượng tạp chất thấp và có độ sạch vượt trội. Điều này có thể ngăn chặn đáng kể các ion kim loại và các chất gây ô nhiễm khác ảnh hưởng đến quá trình epiticular bán dẫn.

2. Độ ổn định nhiệt cao

Các thành phần được sử dụng trong các hệ thống này yêu cầu phải có độ ổn định nhiệt đặc biệt vì thiết bị epiticular bán dẫn thường hoạt động ở nhiệt độ trên 1400°C. Độ ổn định nhiệt đặc biệt này có thể đảm bảo các đĩa phân phối khí được phủ Semicorex SiC chịu được các điều kiện vận hành ở nhiệt độ cao đầy thách thức và có thể ngăn chặn hiệu quả sự giải phóng tạp chất do nhiệt độ cao trong quá trình vận hành, giúp đảm bảo chất lượng và hiệu suất của tấm wafer epiticular.

3. Khả năng chống ăn mòn ở nhiệt độ cao đáng chú ý

Ma trận than chì không được bảo vệ dễ bị ăn mòn và tạo ra các hạt, đó là lý do tại sao đĩa chuyển khí thường được xử lý bằng lớp phủ cacbua silic để tăng cường khả năng chống ăn mòn của chúng. Được bao phủ bởi lớp phủ SiC dày đặc,  đĩa phân phối khí được phủ Semicorex SiC mang lại khả năng chống oxy hóa và ăn mòn hóa học tuyệt vời, giúp chúng hoạt động ổn định trong thời gian sử dụng lâu dài ngay cả trong các điều kiện hoạt động ăn mòn và nhiệt độ cao đầy thách thức.

4. Khả năng tùy biến linh hoạt

Semicorex được trang bị nhiều thiết bị xử lý tiên tiến, chẳng hạn như thiết bị gia công CNC, máy mài bề mặt và thiết bị khoan siêu âm,  cung cấp khả năng xử lý chuyên nghiệp. Semicorex có thể cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh linh hoạt theo bản vẽ của khách hàng và điều chỉnh kích thước, dung sai, độ phẳng bề mặt, đường kính lỗ và khoảng cách lỗ của đĩa phân phối khí được phủ SiC để đảm bảo khả năng tương thích liền mạch với thiết bị epiticular của khách hàng.